HOOL L61200A 300mm通用組合水平式檢測干涉儀
- 公司名稱 冠乾科技（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 HOOL L61200A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2023/8/18 11:44:24
- 訪問次數(shù) 856
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車 |
（1）應(yīng)用領(lǐng)域
●光學(xué)平面計(jì)量
●半導(dǎo)體晶圓
●半導(dǎo)體掩膜版基板
●同步輻射
●光刻機(jī)光學(xué)元件
●航空航天折返成像系統(tǒng)
●空間光學(xué)器件
●強(qiáng)激光平板玻璃測量等
實(shí)現(xiàn)大口徑光學(xué)表面面形、透射波前、光學(xué)均勻性等參數(shù)的檢測。
（2）產(chǎn)品綜述
300mm通用組合水平式檢測干涉儀是慧利儀器“大口徑相移式激光干涉儀系列產(chǎn)品之一。它采用經(jīng)典的斐索型共光路設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)簡單、在適用于多種被測樣品的前提下，使用數(shù)字化相移分析方法實(shí)現(xiàn)高精度、多功能的檢測。
慧利儀器300mm通用組合水平式檢測干涉儀不僅實(shí)現(xiàn)了干涉測量技術(shù)從小口徑到大口徑的更新拓展，而且填了國內(nèi)制造業(yè)和國家質(zhì)檢部]對高精度平面檢測設(shè)備需求的空白。
（3）參數(shù)性能
測量原理： | 斐索干涉原理 |
光源波長： | 632.8nm（穩(wěn)頻氦氖激光器）/633nm(波長調(diào)諧激光器） |
樣品準(zhǔn)直： | 雙光點(diǎn)對準(zhǔn)，對準(zhǔn)角±3度 |
電源: | AC 220V 50HZ |
操作系統(tǒng)： | Windows系統(tǒng)，銀河麒麟操作系統(tǒng) |
CCD分辨率： | 1024*1024像素 2048*2048像素 |
軟件： | HL 數(shù)字化相移分析軟件 |
精密度： | ≤入/600 |
PV測量重復(fù)性： | ≤入/600 |
RMS測量重復(fù)性： | ≤入/8000 |
| RMS波前重復(fù)性： | ≤入/1800 |
透射平面鏡精度： | A/20 PV |
◆材質(zhì)均勻性
◆超精密平面/球面面形測量
◆光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)和校準(zhǔn)
◆光學(xué)組件透射波前測量
◆光學(xué)均勻性測量
◆平行度測量
◆角錐角度測量
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