二手場發射顯微鏡SEM：儀器簡介

    掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數可調范圍寬等優點而被廣泛應用于半導體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經濟的迅速發展，高校、科研單位、企業等大量引進了場發射掃描電子顯微鏡

查看環境條件

   掃描電子顯微鏡的使用環境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。一般情況下，環境溫度需控制在22～25℃，相對濕度以小于70%為宜，保證實驗室清潔整齊，避免大聲喧嘩及震動、磁場的干擾。溫濕度控制需配備空調和除濕機，特別是在南方地區一定要保證對濕度的控制，避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。

檢查光學系統

    電子光學系統是由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈組成的，也是掃描電子顯微鏡的核心部分。為保證電子束沿這些部件的軸線穿行，必須調節這些部件合軸，即光闌對中。而電鏡初學者往往一味地進行調焦、變倍操作，可是得到的圖像仍不清楚，于是懷疑電鏡出現故障。

檢查真空系統

     電鏡中的真空系統一般由真空泵、管道、真空測量裝置組成。高真空度可減少電子與氣體分子的碰撞，增加燈絲壽命，所以必須高度關注真空系統，定期記錄系統真空和槍真空數值，或是打開真空監控器（Gun　Monitor）實時監控真空值。對于ULTRA　PLUS掃描電子顯微鏡，需保證系統真空值不小于5.0×10－4Pa，槍真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常狀態需進行必要的檢查和維護保養，如檢查各真空系統部件或進行烘烤操作。

應用范圍

   場發射掃描電子顯微鏡，廣泛用于生物學、醫學、金屬材料、高分子材料、化工原料、地質礦物、商品檢驗、產品生產質量控制、寶石鑒定、考古和文物鑒定及公安刑偵物證分析。可以觀察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。該儀器的最大特點是具備超高分辨掃描圖像觀察能力，尤其是采用新數字化圖像處理技術，提供高倍數、高分辨掃描圖像，并能即時打印或存盤輸出，是納米材料粒徑測試和形貌觀察*儀器。也是研究材料結構與性能關系所*的重要工具。

二手場發射顯微鏡SEM：場發射掃描電子顯微鏡的案例分析

客戶要求對LED熒光填充物進行成分分析

實例二：客戶需對碳納米管和石墨烯進行SEM形貌觀察