WCS-200 晶圓清洗機(jī)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) WCS-200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/5/17 12:07:06
- 訪問(wèn)次數(shù) 1347
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勻膠機(jī)，光刻機(jī)，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī)，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱，壓片機(jī)，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī)，加熱板
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子 |
|---|
特點(diǎn)：
· 高壓或霧化噴霧清洗
· 擁有觸摸屏界面
· 可重復(fù)過(guò)程的快速啟動(dòng)按鈕
· 自動(dòng)透明蓋
· CDA 和 N2 輸入傳感器
WCS-200專為切割后的晶圓清洗而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)有兩種配置：最大8英寸的晶圓和最大12英寸的晶圓。
晶圓清洗工藝通過(guò)觸摸屏進(jìn)行設(shè)置。 用戶可以通過(guò)4個(gè)步驟對(duì)多達(dá)50個(gè)程序段進(jìn)行編程：
· 沖洗
· 吹掃
· N2干燥
· 旋轉(zhuǎn)
每個(gè)步驟可設(shè)置不同的速度和時(shí)間參數(shù)。
技術(shù)參數(shù)：
晶圓最大尺寸 | 8”/12”mm |
晶圓清洗參數(shù)： · 速度; · 加速度； · 清洗時(shí)間； · 沖洗時(shí)間； · N2干燥時(shí)間； | |
轉(zhuǎn)速范圍 | 500-3000 rpm |
電源電壓 | 230VAC 50Hz 5A |
CDA供給壓力 | 0.5-0.6 MPa |
CDA 最大消耗量 | 3 m3/h |
CDA 連接管 | 6 mm |
去離子水 供給壓力 | 0.2-0.3 MPa |
去離子水最大消耗量 | 100 L/h |
去離子水連接管 | 6 mm |
真空供應(yīng) | 0.02-0.04 MPa |
真空連接管 | 6 mm |
排氣連接管 | 50 mm |
尺寸 | 900x780x1280 mm |
重量 | 110 kg |
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