應用

● 去除分子級別的污染物
● 紫外光固化粘合劑
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蝕
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

主要參數

● 功率：最大350W

● AC 208~240V，單相 50/60Hz

紫外燈

● 可發出雙波長的水銀燈

● 功率：55W

● 發出光的波長：254 nm 和 185 nm

● 使用壽命：2500 小時（可更換）

● 照射區域：200 x 200 mm

排氣口

● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

● 請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外

● 儀器中不包含橡膠管

外形尺寸：

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

凈重：28kg

腔體&樣品臺

● 不銹鋼殼體

● 抽屜式樣品臺，以便放樣取樣

● 樣品臺面積310 mm x 320 mm

● 臭氧通風裝置安裝在腔體上

● 樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調）

● 樣品臺可以加熱，最高溫度可達150℃

● 可設置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

● 設備運行時間：0.01 秒- 99.9小時

環境要求

● 僅室內使用; 海拔高度5500英尺以內;

● 溫度范圍：41-104華氏度;

● 最大相對濕度80％，最高87華氏度，104華氏度線性降至50％相對濕度;

● 主電源波動不超過額定電壓的10％;

● 污染等級2; 臭氧水平（環境）測量<45 ppb。

保修期 ：一年保修，終身技術支持。

特別提示：

1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。