最大射頻功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 總功率: < 600W
● 電源：AC 220V , 50Hz

射頻電源：

●射頻功率可在 0 - 100W之間調節

●頻率: 13.56 MH

●可以與本公司工作人員聯系將原有電源升級為300W或500W的射頻電源，來進行等離子刻蝕或等離子灰化等實驗

等離子腔體：

●8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體

●鋁制折疊式法蘭來進行真空密封

●法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

●此設備*屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏

通入氣體：

●等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據材料性質所定）

●不能使用易燃qi體及腐蝕性氣體。

可選：

●可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

●可選購2-4通道質子或浮子混氣系統

●空氣系統模塊

控制面板：

●通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.

●儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計，可精確地控制進氣流量

真空泵（選配）：

●儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

●極限真空度為50mTorr（參考值，具體請點擊）

●真空泵模塊

外形尺寸：

620 L ×600 W ×600 H, mm

相關應用：

●請自行根據您的應用測試最佳的等離子功率

●對于等離子清洗，根據工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間

●對于等離子刻蝕，根據工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間

●可根據要求提供300W高功率射頻電源