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FPSEM-STE3526 混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPSEM-STE3526
- 產(chǎn)地 孚光精儀歐洲
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/8/5 14:24:10
- 訪問次數(shù) 489
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生長室溫度 | 1200 |
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這款混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)具有雙反應(yīng)器,非常適合А3В5和А2В6異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長應(yīng)用,也可用于epi晶圓研發(fā)和試生產(chǎn)。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)是提供從А3В5-反應(yīng)器到А2В6-反應(yīng)器的超純超高壓基板傳輸,避免生長界面的不受控制的污染。
還可以配備V族和VI族元素的閥裂解單元以及所有必要的原位分析工具。
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)優(yōu)勢:
•“實驗室到工廠”的概念,允許開展從基礎(chǔ)研究到異質(zhì)結(jié)構(gòu)試生產(chǎn)的活動
•鋁(冷唇)專用滲出細(xì)胞,操作穩(wěn)定,鎵(熱唇)提供低橢圓形缺陷密度
•在系統(tǒng)基本配置中對生長過程進(jìn)行現(xiàn)場監(jiān)測的所有必要工具
•特別設(shè)計的生長操縱器,提供高溫均勻性和加熱/冷卻速率動態(tài)
•安裝期間的有效技術(shù)支持,包括基本工藝轉(zhuǎn)移
•簡單的系統(tǒng)操作和定期的技術(shù)維護(hù)
混合異質(zhì)結(jié)構(gòu)分子束外延系統(tǒng)參數(shù):
烘烤后生長室的最終真空度,Torr | <5×10-11 |
最大基板直徑,mm | 100或3×2″block |
100mm晶圓的厚度和復(fù)合不均勻度,% | ±1 |
“源到基片”距離,mm | 135÷210 |
滲出細(xì)胞百葉窗設(shè)計 | 基于磁耦合旋轉(zhuǎn)運動的無沖擊驅(qū)動旋轉(zhuǎn)機構(gòu) |
百葉窗葉片材料 | 鉭、鉬或PBN(可選) |
生長機械手加熱元件的設(shè)計 | PBN/PG/PBN |
生長操縱器的最高工藝溫度,不低于,℃ | 900 (NH3-MBE為1200) |
準(zhǔn)備室中基板脫氣溫度,不低于,℃ | 650 (III氮化物為1100) |
生長室烘烤溫度,不低于,℃ | 200 |
離子泵容量,不小于,l/s: –生長室(III-N的TMP) –準(zhǔn)備室 –負(fù)載鎖定 | 800 (2000) 500 300 |