雙溫區PECVD(智能型)
- 公司名稱 安徽貝意克設備技術有限公司
- 品牌 貝意克
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2021/9/30 13:50:27
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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儀器種類 | 管式爐 | 應用領域 | 環保,化工,能源,電子 |
雙溫區PECVD(智能型)PECVD-II-500A高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。 雙溫區PECVD(智能型) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1、加熱系統
2、PE射頻電源
3、三路質子流量控制系統
4、低真空機組
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