3D輪廓測量顯微鏡

系統(tǒng)輕松解決以上不足，*突破顯微鏡的光學 固有限制?？梢栽?0秒之內(nèi)得到樣品的三維立體圖像?？梢暂p松的對樣品不同高度進行優(yōu)質(zhì)成 像，得到平面優(yōu)質(zhì)圖片，繼而構(gòu)建3D模型，并通過智能測量模式，準確測量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質(zhì)平面圖像/3D圖像的同時，本系統(tǒng)還提供共焦點云的全自由度模型三維觀察使得用戶能夠從任意角度觀察樣品，系統(tǒng)通過一體化的設計，可以實現(xiàn)高速自動顯微鏡3D觀察、測量。

3D輪廓測量顯微鏡技術(shù)要求

光源是數(shù)碼成像的基礎之一，正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細節(jié)的必需條件，系統(tǒng)所采用的照明裝置，均為機器視覺系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實，形態(tài)多樣，長壽命（大于3萬小時），根據(jù)不同用途，有多種結(jié)構(gòu)設計，能組建復式照明技術(shù)，配合數(shù)字消光技術(shù)（HDR)，能展現(xiàn)樣品細節(jié)。

高精度壓電位移平臺實現(xiàn)納米級運動：

全新的壓電位移平臺可實現(xiàn)納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應速度、簡便的控制方式、通過超薄的設計，減輕了整體重量，在運動中具有*準確性，與光譜共焦技術(shù)實現(xiàn)結(jié)合，可實行大范圍精準掃描，得到計量級結(jié)果

光譜共焦技術(shù)具有*泛的材質(zhì)適應性、穩(wěn)定性、檢測效率：

基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測量適應性，除常規(guī)材料之外，即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料，透明膠水層、薄膜材料均能實現(xiàn)有效的測量，其Z向分辨率可達到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺，能對樣品實現(xiàn)大面積準確輪廓測量。得到的輪廓模型更可與光學景深圖像融合，最終得到計量級的彩色3D模型。

技術(shù)參數(shù)