CC-200 PECVD設備

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公司名稱 青島泰斯邁儀器設備有限公司
品牌 其他品牌
型號 CC-200
產地
廠商性質 代理商
更新時間 2021/8/23 9:30:09
訪問次數 201

產品標簽

PECVD設備

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青島泰斯邁儀器設備有限公司是專業半導體設備公司，有完善的服務和銷售體系。專業經營各類進口機械設備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產品綜合服務商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發科ULVAC-氦質譜檢漏儀;愛發科ULVAC-真空計;愛發科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;

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產地類別	進口	應用領域	能源

產品簡介：
Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發到量產的設備。

產品特性：
• 27.12MHz高密度等離子制程

• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對應SiO2膜

• 以CF4+O2 Plasma實現腔體清潔功能

• 可對應有機EL（OLED）的低溫成膜用heater

• 使用Tray可搬送多種基板尺寸

• 通過使用真空Box實現C系列的間接連續制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

產品應用：
• 功率器件

• LED、LD、高速device等化合物相關

• 有機EL（OLED）開發

• 太陽電池開發

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