化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>WBMW-QXCJ4 任氏巨源 微波化學(xué)氣相沉積爐
WBMW-QXCJ4 任氏巨源 微波化學(xué)氣相沉積爐
- 公司名稱 唐山任氏巨源微波儀器有限公司
- 品牌 任氏巨源
- 型號 WBMW-QXCJ4
- 產(chǎn)地 河北省唐山市路北區(qū)缸窯路東側(cè)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2021/8/21 15:46:58
- 訪問次數(shù) 298
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 混合加熱方式 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 10萬-30萬 | 控溫精度 | ±2℃ |
內(nèi)部尺寸 | φ45×100/φ60×100mm | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | 10/min |
儀器種類 | 真空爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,地礦,能源,建材 |
最大功率 | 4000kW | 最高溫度 | 1600℃ |
3種加熱方式 | 微波加熱 類似于傳統(tǒng)電加熱 混合加熱 | 測溫方式 | 采用微波場專用溫度傳感器 |
加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 包括金屬材料 |
產(chǎn)品名稱:微波化學(xué)氣相沉積爐 型號:WBMW-QXCJ4
產(chǎn)品特點:
1. 才用純微波加熱或混合加熱方式,可加熱包括金屬在內(nèi)的任何材料;
2. 升溫速率快,智能控溫,可分段設(shè)置,控溫精度高,熱慣性小。此管式爐可同時加熱多個溫區(qū),且加熱區(qū)長度可調(diào)。
3. 可通各種氣氛,抽真空有機械泵、擴撒泵和分子泵,可達(dá)10-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭(鉸鏈結(jié)構(gòu)),耐高溫、耐腐蝕;
5、保護(hù)管采用耐高溫合金管 ,氣管采用卡套或VCR接口,安裝方便;
6、爐體配有自動冷卻風(fēng)扇,降低溫度;
7、真空系統(tǒng):機械泵 擴散泵和分子泵,真空密度計;
8、可通過電腦全程監(jiān)控和調(diào)試.
產(chǎn)品參數(shù):
型號(model) | WBMW-QXCJ4 | ||||
可加熱材料 | 非易燃易爆的任何材料 | ||||
微波頻率 | 2.45GHz±50MHz | ||||
加熱方式 | 純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱、混合加熱 | ||||
功率(KW) | 4 (功率可調(diào)) | ||||
溫度測試元件 | 微波場專用傳感器 | ||||
控溫精度(℃) | ±2(微波場專用傳感器) | ||||
加熱管材質(zhì) | 石英管 | 高溫合金管 | 剛玉管 | ||
加熱管加熱溫度(℃) | 1200 | 1200 | 1600 | ||
管徑爐管尺寸(mm) | φ45×1200×2.5,可選配,外徑φ65 | ||||
爐管尺寸(℃/min) | ≤200 | 升溫速率不限 | ≤50 | ||
恒溫區(qū)長度(mm) | 標(biāo)配恒溫區(qū)長度100,恒溫區(qū)長度100~1000以上可選 | ||||
溫區(qū) | 可多溫區(qū)同時加熱 | ||||
氣路法蘭 | 不銹鋼法蘭 | ||||
質(zhì)量流量控制(選配) | 1.美國Alicat質(zhì)量流量&控制器或七星華創(chuàng)質(zhì)量流量&控制器; 2.氣柜、氣路及各類閥門; 3.可配套計算機自動控制系統(tǒng)及軟件 | ||||
氣路數(shù)量 | 依據(jù)用戶需求≥2路 | ||||
流量范圍 | 0~1SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分,可選配)氮氣標(biāo)定 | ||||
精度 | ±0.2﹪F.S | ||||
響應(yīng)時間(s) | ≤1 | ||||
工作壓力 | 進(jìn)氣壓力0.05~0.35Mpa(壓力表) | ||||
系統(tǒng)連接方式 | 采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀 | ||||
系統(tǒng)真空范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓~10-3Pa | ||||
真空泵(選配) | 簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10-1Pa真空用高檔機械泵及真空計 10-2Pa真空用高檔機械泵、擴散泵及真空計 10-3Pa真空用高檔機械泵、分子泵及真空計 | ||||
諧振腔尺寸(mm) | 700×350×530 | ||||
加熱腔(標(biāo)配) | 根據(jù)管徑、加熱區(qū)長度、加熱溫區(qū)數(shù)量確定 | ||||
升溫速率(℃/min) | 0~1000范圍內(nèi)任意設(shè)定,可編程、分段加熱 | ||||
溫度控制系統(tǒng) | 采用PLC控制,觸摸屏操作 | ||||
主機外型尺寸(mm) | 1500′750′1560 | ||||
微波泄漏(Mw/cm2) | ≤0.4 | ||||
提供相關(guān)配件 | 高溫手套×1副、中文說明書×1本、樣品鉤×1個 | ||||
保修期 | 整機免費保修1年 |
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*:李豆