Sentech光譜橢偏儀測(cè)厚儀SENresearch 4.0

Sentech光譜橢偏儀測(cè)厚儀SENresearch 4.0可以配置用于全穆勒矩陣、各向異性、廣義橢偏、散射測(cè)量等。使用步進(jìn)掃描分析器原理實(shí)現(xiàn)測(cè)量結(jié)果。寬光譜范圍從190nm（深紫外）到3,500 nm（近紅外）。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá)200μm的厚膜。

寬光譜范圍和高光譜精度

Sentech光譜橢偏儀測(cè)厚儀SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá)200μm的厚膜。

*的步進(jìn)掃描分析器，使結(jié)果更

為了獲得測(cè)量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過(guò)程中沒有光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個(gè)*特性。

雙補(bǔ)償器2C全穆勒矩陣測(cè)量

通過(guò)創(chuàng)新的雙補(bǔ)償器2C設(shè)計(jì)擴(kuò)展了步進(jìn)掃描分析器SSA原理，允許測(cè)量全穆勒矩陣。該設(shè)計(jì)是可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)和實(shí)現(xiàn)成本效益的附件。

SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用于*材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導(dǎo)圖形用戶界面進(jìn)行研究的交互模式和用于常規(guī)應(yīng)用的配方模式。

SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一臺(tái)SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據(jù)客戶具體配置的光譜范圍、選項(xiàng)和現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)附件而制造的。

SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測(cè)量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍，具有的信噪比，可選擇的光譜分辨率。可測(cè)量硅薄膜厚度高達(dá)200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測(cè)量速度與二極管陣列配置相比，也可選擇高達(dá)1700納米。

新的金字塔形狀的自動(dòng)角度計(jì)具有從20度到100度的角度范圍。光學(xué)編碼器確保精度和角度設(shè)置的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。光譜橢偏儀手臂可以獨(dú)立移動(dòng)，用于散射測(cè)量和角度分辨透射測(cè)量。

Sentech光譜橢偏儀測(cè)厚儀

SENresearch 4.0 根據(jù)步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理進(jìn)行操作。SSA將強(qiáng)度測(cè)量與機(jī)械運(yùn)動(dòng)分離，從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學(xué)部件在數(shù)據(jù)采集期間都處于靜止?fàn)顟B(tài)。此外，SENresearch 4.0 包括用于自動(dòng)掃描和同步應(yīng)用的快速測(cè)量模式。

定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學(xué)和結(jié)構(gòu)(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應(yīng)用提供了預(yù)定義的配方。