LiteScope™

掃描探針顯微鏡的設計易于集成到電子顯微鏡中。 互補的SPM 和SEM 技術的結合使得能夠利用兩種常用顯微鏡技術的優勢。

全面的樣本分析，包括：

• 表面形貌的表征
• 機械性能
• 電性能
• 磁性

LiteScope™還可以與其他SEM附件結合使用：

• 聚焦離子束（FIB)
• 氣體注入系統（GIS）

用于制造納米/微結構和表面修飾。通過這種組合，LiteScope™可以輕松快速地對制造的結構進行3D檢查。

其他優勢

• 自感應探頭，無需光學檢測，無需激光調整
• 商用探頭，多種測量模式
• 客戶定制的探頭可與根據客戶要求設計的合適探頭支架一起使用
• 測量頭可以縮回到LiteScope™的主體中，以釋放樣品周圍的空間
• SPM在傾斜位置（傾斜0°– 60°）的操作，小值 WD = 5毫米
• 用戶友好的軟件，無需特殊安裝
• 遠程訪問結果和測量設置

相關探針 和電子顯微鏡（CPEM）已開發用于使用相關成像技術（正在申請專力），并帶來了解決方案，該解決方案可以同步：

• 掃描區域
• 分辨率和圖像失真
• 并能夠實時關聯采集的SPM和SEM圖像

NenoVision引入了CPEM技術

CPEM技術

CPEM可以在同一時間和同一協調系統中同時通過SEM和SPM對一個區域進行同時的表面表征。

以已知的恒定偏移量和相同的分辨率進行同時掃描，可確保在同一表面上進行分析，并可通過我們的NenoView軟件直接用于在線成像。

LiteScope™數據

LiteScope™通常用于高真空中，但也可根據要求適用于超高真空條件。

• 總重量：1 kg
• 真空工作范圍：10e5 Pa至10e-5 Pa
• 掃描范圍X，Y，Z：100×100 ×1 00μm或38x38x38μm
• 分辨率：高達0.4 nm或0.07 nm
• 大樣品尺寸：10毫米× 10毫米
• 大樣品高度：8毫米

我們提供*非磁性的版本，也可根據要求提供閉環。

• 外形小巧，體積小， 可集成到SEM / FIB儀器中
• 易于集成的過程 –安裝在SEM / FIB機械手上
• 當整個SPM探針隱藏在LiteScopeTM主體中時，可使用對接選項
• 通用探頭支架，適用于多種SPM方法并易于“即插即用”組裝
• 樣品傾斜高達60°
• 針對低振動水平（剛度和適當的共振頻率）進行了優化的機械設計，集成了前置放大器（以盡可能消除信號失真/噪聲）

• 動態測量的大PLL頻率為75 kHz，適用于基于音叉的探頭（或使用外部PLL或根據客戶要求更高）
• 每個掃描軸2 × 16位DAC（掃描范圍，偏移），以在視場內的任何地方達到大分辨率
• 6 × 16位輔助輸入，用于同時測量用戶信號（±10 V）
• 輸入通道可用于反饋回路混頻器
• 探頭信號輸出/監控
• 外部探頭激勵
• 使用外部鎖定/ PLL所需的所有連接
• 以太網連接到控制PC
• 110 VAC或230 VAC操作，200 W
• 前置放大器位于LiteScope™的主體內，可確保大大降低電噪聲

• 保存數據以及所有信息，包括測量設??置
• 基于Web的用戶界面
• 易于新用戶使用，對專家靈活
• 用戶帳戶可配置
• 遠程訪問用戶數據
• 將數據從控制PC下載到本地計算機
• 通過平板電腦，智能手機等進行遠程實驗控制
• 集成的數據后處理，分析，導出等

成像模式

LiteScope™提供并支持各種SPM測量方法和探頭。

其設計的基石和有價值的技術特征是通用探頭支架，可以非常輕松地“即插即用”安裝不同的探頭。

原子力顯微鏡

接觸模式
在接觸模式下，在整個樣品表面上“下垂”，并且可以直接使用懸臂的偏轉來測量表面的輪廓，或更常見的是，使用將懸臂保持在一定角度所需的反饋信號進行測量。恒定撓度。

輕敲模式
在輕敲模式下，驅動探頭以其共振頻率或接近共振頻率垂直振蕩。這種振動是通過探針（音叉），集成加熱器元件（PRSA）或懸臂支架（PRS）中的小型壓電元件的壓電特性實現的。這種振蕩的幅度通常在幾納米到200納米之間變化。

導電模式
C-AFM）是原子力顯微鏡（AFM）的一種變體，與形貌學同時測量電流以構建研究樣品的電導率圖。電流流過顯微鏡的金屬涂層頭部和導電樣品。

靜電力顯微鏡

EFM是一種動態非接觸式原子力顯微鏡，可在其中探測靜電力。由于分離的電荷的吸引或排斥而產生該力。這是一個遠距離作用力，可以從樣品中檢測出100 nm或更大的距離。

局域電壓/電流測量

LiteScopeTM也可用作納米操縱器。將金屬頭部粘貼在樣品中所需的位置，然后測量局部電壓/電流。此模式不是顯微鏡技術，但可用于測量例如電子束感應電流等。

力調制顯微鏡

FMM是在接觸模式下運行的AFM成像的擴展，用于檢測樣品表面機械性能的變化，例如彈性或附著力。

在FMM模式下，AFM頭部與樣品表面接觸時進行掃描，并且Z反饋環與恒力模式AFM一樣保持恒定的懸臂撓度。

開爾文探針力顯微鏡

KPFM是一種掃描探針法，其中可以使用與宏觀Kelvin探針相同的原理來測量探針頭部與表面的局部接觸電勢差。AFM中的懸臂是一個參比電極，該參比電極與表面形成電容器，在該表面上以恒定間隔橫向掃描。懸臂不是像通常的AFM那樣以其機械共振頻率ω0從外部驅動，盡管在此頻率下在頭部和表面之間施加了交流電壓。

磁力顯微鏡

MFM是原子力顯微鏡的一種模式，其中尖銳的磁化頭部可掃描磁性樣品；頭部樣品的磁性相互作用被檢測到并用于重建樣品表面的磁性結構。

MFM可測量多種類型的磁相互作用，包括磁偶極-偶極相互作用，磁疇壁，磁渦旋等。MFM掃描通常使用非接觸式AFM（NC-AFM）模式。

掃描隧道顯微鏡

STM是一種用于在原子水平上成像導電表面的技術。STM不僅可以用于超高真空，還可以在空氣，水以及各種其他液體或氣體環境中使用，溫度范圍從接近零開爾文到幾百攝氏度。

Akiyama Probe

該探頭基于石英音叉 和微機械懸臂

這種新型探頭的優點是，用戶可以通過一個探頭同時受益于音叉的極其穩定的振蕩和硅懸臂的合理彈簧常數。

由NANOSENSORS提供

PRS/A 探針

壓電電阻敏感有源（PRSA）探頭是硅懸臂梁，具有集成的壓電電阻橋和熱加熱器，用于自感應和自觸發掃描探頭顯微鏡應用。

壓電電阻集成到匹配的惠斯通電橋中，以優化靈敏度并補償環境熱漂移。

由SCL-Sensor.Tech提供

音叉

石英音叉用于檢測頭部和表面之間的原子力。音叉的高剛度可實現非常低的振蕩幅度，而高Q因子可確保足夠的靈敏度。探頭可以具有一個導電頭部，該導電頭部可以連接到電子讀數器（用于導電AFM或隧穿電流讀數器），而不會與叉形電極發生串擾。樣品的磁性也可以通過帶有鐵磁頭部的音叉傳感器來檢查。此外，有經驗的終用戶可以使用各種頭部材料來構造音叉傳感器，以調節所需的特性。

Pt/Ir wire

導線是用于STM測量的基本探針。

盡管Pt / Ir合金是容易用于此目的的合金之一，但可以使用許多其他材料（例如金，鉬，鎳等）。導線可以被電化學蝕刻或機械切割以形成非常鋒利的頭部。這種探針還適合在納米操縱器模式下進行本地電壓/電流測量。

掃描電鏡集成

LiteScope™是專為在“ 即插即用 ”模式下集成到不同制造商的SEM顯微鏡而設計的。我們提供可以根據客戶要求定制的適當適配器和饋通。

LiteScope™易于安裝，只需通過四個螺釘將電子顯微鏡連接到樣品臺，即可將電纜插入已準備好的真空饋通中。