特征

•提高附著力

         •降低涂層應(yīng)力

•高縱橫比成像

          •垂直側(cè)壁

          •單層涂膜厚度大于100mm

           •出色的抗干蝕刻性

SU-8 3000抗蝕劑經(jīng)過(guò)專門設(shè)計(jì)，可與MicroChem的SU-8顯影劑一起用于浸漬，噴涂或噴漿工藝。 也可以使用其他基于溶劑的顯影劑，例如乳酸乙酯和雙丙酮醇。 對(duì)于高縱橫比和/或厚膜結(jié)構(gòu)，也建議強(qiáng)烈攪拌。 表6中給出了浸入過(guò)程的建議顯影時(shí)間。這些顯影時(shí)間是近似的，因?yàn)閷?shí)際溶解速度會(huì)隨著攪拌而變化很大。

SU-8 3000具有良好的機(jī)械性能。 但是，對(duì)于要保留成像的抗蝕劑作為終設(shè)備一部分的應(yīng)用，可以在加熱板上或?qū)α骺鞠渲性?50-200°C之間將抗蝕劑進(jìn)行坡道/分步硬烘烤，以進(jìn)一步使材料交聯(lián)。 烘烤時(shí)間根據(jù)烘烤過(guò)程的類型和膜厚的不同而不同。