NPflex 大樣品計量檢測光學輪廓儀

針對大樣品設計的非接觸測試分析系統

（1）靈活測量大尺寸樣品，滿足高難度測量角度的測量

（2）高效的三維表面信息測量

（3）垂直方向納米分辨率提供更多的細節

（4）快速獲取測量數據，測試過程迅速高效

布魯克的NPFLEX™3D表面測量系統為精密制造業帶來的檢測性能，實現更快的試產擴量時間，提高了產品質量和生產力。基于白光千涉的原理，這套非接觸系統提供了諸多*進的優點，遠超通常接觸式坐標測量儀(CMM)和工業級探針式輪廓儀的測量技術所能提供的。這些測量優勢包括高分辨的三維圖像，進行快速豐富的數據采集，幫助用戶更深入地了解部件的性能和功能。積累幾十年的干涉技術和大樣品測量儀器設計的經驗，NPFLEX™3D可以靈活地測量大尺寸樣品的光學測量系統，而且能夠高效快捷地獲得從微觀到宏觀等不同方面的樣品信息，可用于表面粗糙度，RDLxian進封裝工藝厚度等測試。

NPflex 大樣品計量檢測光學輪廓儀其靈活性表現在可用于測量表征更大的面型和更難測的角度

（1）創新性的空間 設計使得可測零件(樣品)更大(高達330毫米)、形狀更多

（2）開放式龍門、定制的夾具和可選的旋轉測量頭可輕松測量待測部位

高效的三維表面信息測量

（1）每次測量均可獲取整個表面高度信息，用于各種分析

（2）更容易獲得更多的測量數據來幫助分析

垂直方向納米分辨率提供更多的細節

（1）干涉技術實現每一個測量象素點上的亞納米級別垂直分辨率

（2）工業界使用多年業已驗證的干涉技術提供具有統計意義的數據，為日漸苛刻的加工工藝提

供保障

測量數據的快速獲取保證了測試的迅速和高效

（1）少的樣品準備時間和測量準備時間

（2）比接觸法測量(一條線)更大的視場(一個面)獲得表面更多的數據

技術參數