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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>納米壓印設備> 納米壓印Nanonex高分辨率光刻/對準器

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納米壓印Nanonex高分辨率光刻/對準器

具體成交價以合同協議為準

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上海跡亞商貿有限公司(Gaia China Co.,Ltd.)是新加坡跡亞集團(Gaia One International Pte. Ltd.)位于中國的子公司。旗下的公司分布于新加坡,馬來西亞,印尼和緬甸。我們的工作團隊經驗豐富,技術力量強大,為大學,科研機構和工業企業提供實驗設備和工程設備,具備引導潮流的實力。我們提供的*技術曾被許多主要機構*。我們的產品應用于生命科學,實驗動物研究,藥物開發,有機合成,材料科學/納米技術,清潔能源研究等領域。我們不僅為顧客提供實驗室解決方案,我們也參與特殊實驗室的設計,建造以及交鑰匙工程等項目。

我們的愿景

促進創新科技,建立更健康的地球,科技進步,促進健康生態,向更美好的生活邁進。

我們的使命

走在*技術的前沿,提供有效的解決方案和優質的服務,為科技進步做出貢獻。

我們的目標

提供優質的客戶服務,提供有效的解決方案,將*的實驗室設備引入科學界,促進科學進步,改善人類生活,使世界變得更美好。

生命科學,實驗動物研究,藥物開發,有機合成,材料科學/納米技術,清潔能源研究

應用領域 醫療衛生,環保,生物產業,農業

納米壓印Nanonex高分辨率光刻/對準器 Lumina系列為電子,光電,MEMS和許多其他應用中的高分辨率,對準,接觸和接近光刻提供了高質量,可靠且經濟高效的解決方案。 它具有易于使用的界面,高精度的載物臺,高性能的光學元件和較小的占地面積。

Nanonex Lumina-200納米壓印主要特點

高分辨率光刻

高精度對準平臺

*的對準光學

間隙控制

用戶友好的PC控制

占地面積小

具有成本效益的設計

背面對齊可選

應用領域:半導體器件 *微機電系統 *光電子學 *高級包裝 *電力設備

納米壓印Nanonex高分辨率光刻/對準器技術參數

手冊X-Y-?

帶稱重傳感器的電動Z

移動范圍: X和Y:1英寸

?:10度

Z:0.25英寸

掩膜加載能力

5”口罩標準

其他尺寸可選

基板裝載能力

4”標準

其他尺寸可選

對準 模式:接近、柔和、硬

對準光學

分割欄 5倍物鏡,1到7倍變焦

2個獨立的手動X,Y,Z顯微鏡移動 精細粗調

通過CCD相機成像

曝光系統

紫外線:汞燈,帶有可選的G線或I線過濾器

紫外線燈功率:500瓦

紫外線均勻照射

電動紫外線燈移動

具有Microsoft Windows的基于PC的控制計算機

用戶友好的控制軟件 PC控制的CCD視頻

紫外線燈曝光由電腦控制

占地面積:31英寸乘44英寸(780毫米乘1110毫米)



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