| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,能源,電子,印刷包裝 |
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真空等離子清洗機主要通過等離子體作用在材料表面后產生一系列物理及化學變化，利用等離子清洗機包含的活性粒子和高能射線，與表面有機污染物分子發生反應、碰撞，形成小分子揮發性物質，從表面移除來實現清潔效果。
- 工作原理 -
（1） 物理反應（Physical reaction）：
主要是利用等離子體的粒子作為純物理的撞擊，把材料表面的原子打掉來清除了材料表面的污染物和刻蝕作用，將材料表面變粗糙，增加表面比和潤濕性。
（2） 化學反應（Chemical reaction）：
利用表面活化在材料表面產生新的活性基團，利用此基團與后續的活性物質產生化學共價鍵結合，后續的活性物質中帶有能夠滿足應用的特定基團，以達到既能滿足表面特性又能牢固結合的目的。
- 產品參數 -
| 系統標準配件 | |
| 設備尺寸 | 1105W*1488D*1842Hmm（2158mm帶信號燈高度） |
| 水平極板 | 8層 |
| 電極板 | 402W*450Dmm |
| 氣體流量控制器，2路工藝氣體 | 0-300 ml/min |
| 真空測量 | 日本ulvac真空計 |
| 人機界面觸摸屏 | SD自主研發 |
| 電極向距 | 48mm |
| 信號指示燈 | 3色帶警報 |
| 真空泵 | 90m3/h雙極油泵 |
| 系統電力＆機械 | |
| 電源：AC380V，50/60Hz | 額定功率5000W |
| 系統重量(設備主機/真空泵) | ＜600Kg |
| 占地面積：設備主機 | 1805(W)×1988(D)×1842(H)mm |
| 射頻電源 | |
| 射頻電源頻率 | 13.56MHz |
| 射頻電源功率 | 1000W |
| 射頻電源匹配器 | 全自動匹配，空氣電容技術 |
| 設備*條件 | |
| 電源：AC380V，50/60Hz，三相五線 | 7.5KVA |
| 壓縮空氣要求 | 無水無油CDA 60～90psig |
| 抽風系統 | ≥2立方/分鐘，中央尾氣處理管道即可 |
| 系統環境溫度要求 | ≤30℃(室溫較好) |
| 工藝氣體要求 | 15～20psig 99.996％或以上純度; |
- 設備優勢 -
> *電源：采用*高壓激勵電源電路技術，產生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。
> 全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。
> *放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。
> 封性的真空體設計：軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝，配置進口真空泵。
> 優質產品部件：產品全部部件采用國內外優質部件，確保設備性能*。
> 超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產品造成溫度影響。
> 精容數控加工：進口精密CNC數控機床加工工藝，并配備進口三坐標測量儀進行質量控。
> 適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，均勻清洗。
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