| 泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數目 | 多級 | 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,航天,制藥,電氣 |
凍干機EH2600愛德華真空羅茨泵維修
半導體加工
我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及世界每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統，因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統等各種系統，用來優化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。
應用
●真空冶金加工
●薄膜覆層技術
●制藥冷凍干燥
●冷凍和空調系統抽空、干燥和回填
●變壓器和電纜干燥及浸漬、絕緣油處理工廠
●燈具制造
●低溫容器抽空
●化工行業中的真空干燥和蒸餾
●半導體設備制造
●用于高真空應用的前級泵
潔凈的真空
腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運作
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現在高吸入壓強下的運作。
用途
• 照明、電子、光學、半導體。
• 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入。
• 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣。
• 真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐。
• 分析儀器、檢漏設備、CO2激光設備。
凍干機EH2600愛德華真空羅茨泵維修
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