美國RLS激光尺現貨

美國RLS激光尺術語表
查找干涉測量激光尺常用技術術語的定義。

Abbé誤差
當激光尺軸與工作軸發生偏置時產生Abbé誤差。如果平臺俯仰或扭擺，則工件的運動與激光尺讀數不同。對于偏置d和平臺俯仰θ，所產生的Abbé偏置誤差為：Abbé誤差 = d × sin θ。

精度
精度是一個定性術語，指的是某個對象的測量值與其真實（目標或參考）值之間的一致性.

分光鏡
分光鏡是一種光學器件，可將一束光分成兩束或更多束。它是大多數干涉儀系統的關鍵部件。

補償
調整激光尺的位置輸出信號以修正位置誤差的過程。

相長干涉
當兩束相位和頻率相似的光波相結合所形成的光束強度比其中任意一束光更加明亮時，即產生相長干涉現象。

相消干涉
當兩束頻率相似但相位相反的光波相結合所形成的光束強度低于其中明亮的一束光時，即產生相消干涉現象。

頻率
頻率是測量單位時間內某個重復事件發生次數的物理量。頻率的計算方式是，測量某個事件連續發生兩次之間的時間（周期），然后再通過計算該時間的倒數得出頻率。該結果以赫茲 (Hz) 為單位進行測量，f = 1/T。

測量聲音、電磁波（例如無線電或光）、電子信號或其他波的頻率時，以赫茲為單位的頻率是每秒的重復波形周期數。頻率與波長成反比關系。頻率f等于波的速度v除以波長λ (lambda)：f = v/λ。

穩頻精度
測量激光頻率的變化。

非真空環境
大氣中充滿空氣的三維空間。

干涉
干涉是指兩個或多個波疊加，產生新的波形的現象。作為常用的術語，干涉通常指相關或相干的波之間由于來自同一個來源或頻率相同或幾乎相同而產生的干涉現象。（另請參閱相長干涉、相消干涉。）

細分
細分是根據一組離散的已知數據點構建新的數據點的方法。在位置控制中，該術語通常指采集模擬位置信號并通過固定系數將其細分為離散數字信號。

細分盒
細分盒是一種電子裝置，可對模擬位置信號進行細分并根據細分系數將其轉換為離散的數字計數。例如，周期為158 nm的模擬信號使用4096細分盒可產生分辨率為38.6 皮米的信號。

利薩如圖形
利薩如圖形是顯示正弦和余弦信號的一種方法。它使用三角代數將信號組合成一個圓形形式。采用*的信號處理方案，圓上的一個精確點的數學屬性可代表干涉儀運行的許多特性，例如信號強度和在某個時間點的位置。

OEM
原始設備制造商是指制造其他公司終產品所使用的零部件或子系統的公司。

相位
波的相位可將某個特征的位置與波形另一部分中的相同特征（或在另一波形中的相同特征）相關聯。測量相位關系，可以是針對時間、距離、波長的一部分或一個角度來進行。

正交
該術語用于描述通過兩條導線傳輸，并靠每個邊緣變化得到位置信息的數字串行信號。相位每間隔90o出現一次邊緣變化，因此4次邊緣轉換需要的行程為360o。因此，這被稱為正交以表示4個點。通常被稱為AQuadB，表示在輸出信號時使用A和B導線。該信號通常為RS422 AQuadB，是激光尺位置反饋的標準串行協議。此外，它還可用來定義在所謂“相位正交”中的正弦和余弦信號。

折射率
折射率是指光在空氣中的傳播速度與光在某個既定波長的折射介質中的傳播速度的比值。它表示空氣的傳播特性，與氣溫、相對濕度和氣壓等條件相關。

分辨率
激光尺的分辨率是指它可測量并傳輸到合適接收器的小距離增量。

電子細分誤差 (SDE)
是指通常由利薩如圖形的不圓度引起的非累積誤差。

美國RLS激光尺現貨

真空
真空是一個部分或全部清除空氣的三維空間。有各種級別的真空：

粗或低真空 — 1托至1毫托
中真空 — 1毫托至10微托
高真空 — 1微托至10納托
超高真空 — 不超過1納托
其中：1托 = 133.322帕斯卡1個大氣壓強（海平面氣壓）= 101.325千帕斯卡 = 760托

波長
波長是指某個波形的重復單元之間的距離。它通常用希臘字母lambda (λ) 表示。正弦波的波長為兩個波峰之間的距離。波長λ與頻率f（時間內經過某個點的波峰數量）成反比關系。波長等于波型速度除以波的頻率。