Sekidenko OR4000E 外延片測溫儀
- 公司名稱 北京宇冠世紀科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/優儀
- 型號 Sekidenko OR4000E
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/4/23 13:11:52
- 訪問次數 1492
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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儀器種類 | 在線 | 應用領域 | 電子,航天,電氣 |
Sekidenko OR4000E 外延片測溫儀主要特點
多通道測量,通道數可達2個
多波長測量,波長范圍:UV … 2300nm
各通道獨立配置波長,發射率和光纖鏡頭/光導管
發射率實時測量
RF、EMI免疫,可用于強電磁干擾環境
詳細說明
OR4000多通道光纖溫度計(OFT)是OR2000的升級產品。 OR4000E較OR4000TE額外增加了實時發射率測量功能。
OR4000E使用主動發射率補償功能進行精確的溫度測量,以在變化的發射率條件下進行精確的測量和控制。讀取速率高達2 kHz,能夠準確跟蹤快速的溫度變化。 在動態應用中,這可以實現閉環溫度控制并優化工藝產量。
OR4000T可根據目標材料、工藝溫度范圍和工作距離(100 mm 到 3000 mm),為各個通道配置不同測量波長。
典型應用
Epi
CVD
MOCVD
其它基板發射率變化的工藝
技術參數
通用參數 | |
配置 | 1-4通道溫度測量,各通道獨立配置 |
溫度范圍 | 50 至 3500°C |
實時發射率范圍 | 0.03 to 1.0 |
波長 | UV 至 2300 nm |
讀取速率 | 溫度讀取速率, 2KHz 用于實時發射率測量,500Hz |
測溫精度 | ±1.5°C |
控制/重復精度 | ±0.1°C |
分辨率 | 0.001°C |
接口 | |
屏幕顯示 | 內置,4 x 20 LCD 顯示,鍵盤輸入 |
數據 I/O | RS-232, RS-422/485, 和 Ethernet |
模擬輸出 | 0 至 10 V 或 4 - 20 mA |
電參數 | |
輸入電壓 | AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz DC: +24 VDC |
環境參數 | |
使用環境 | 5 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露 |
物理特性 | |
物理尺寸 | 8.6 cm (H) x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D) 3.4" (H) x 6.0" (W) x 8.6" (D) |
重量 | 4.5 lb (2 kg) |
安裝 | 外殼底部,M5 X 0.75螺紋(有關更多信息,請參閱手冊) |
電源線電流 | 100 VAC時,小于0.7A |
響應時間 | 小于2ms @ 2KHz的采樣率(僅溫度測量) |
Sekidenko OR4000E 外延片測溫儀