FERA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡，提供了超高離子束束流（較高束流為2µA），其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對(duì)于目前浪費(fèi)時(shí)間或不可能進(jìn)行的需要刻蝕的材料，F(xiàn)ERA3型儀器是一個(gè)不錯(cuò)的選擇。

FERA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡為用戶(hù)提供了較新的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，例如：改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使圖像采集得速度更快，帶有靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超高速掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等。

FERA3的設(shè)計(jì)適應(yīng)各種各樣的SEM應(yīng)用與當(dāng)今研究和產(chǎn)業(yè)的需求，其高分辨率、高電流和強(qiáng)大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為的分析工具。

現(xiàn)代電子光路

• *的三透鏡大視野觀(guān)察（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)提供了許多工作與顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)
• 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
• 全自動(dòng)的電子光路設(shè)置與合軸
• 成像速度快
• 使用3維電子束技術(shù)可獲取實(shí)時(shí)立體圖像
• 三維導(dǎo)航

高性能離子光路

• 高性能的等離子i-FIB設(shè)備使切片和材料的刻蝕既快又精確

維修簡(jiǎn)單

現(xiàn)在保持電鏡處在的狀態(tài)很簡(jiǎn)單，只需要很短的停機(jī)時(shí)間。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得很仔細(xì)，使得儀器的效率較大化，操作較簡(jiǎn)化。

自動(dòng)操作

電鏡除了可以自動(dòng)化設(shè)置外，還可進(jìn)行聚焦、調(diào)節(jié)對(duì)比度/亮度等自動(dòng)操作。除此之外，電鏡還有樣品臺(tái)自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)分析 程序，能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過(guò)內(nèi)置腳本語(yǔ)言（Python）可進(jìn)入軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺(tái)控制、圖像采集、處理與分析等。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶(hù)還可以自定義自動(dòng)操作程序。

用戶(hù)界面友好的軟件與軟件工具

• 用戶(hù)界面友好的操作系統(tǒng)基于Windows™平臺(tái)，多用戶(hù)和多語(yǔ)言操作界面
• 同時(shí)的FIB/SEM成像，易于操作
• 實(shí)時(shí)圖像支持多窗口模式，可自定義實(shí)時(shí)圖像參數(shù)
• 圖像處理，報(bào)告生成，在線(xiàn)與離線(xiàn)圖像處理
• 項(xiàng)目管理軟件
• 內(nèi)置的自動(dòng)診斷（自檢）
• TCP/IP遠(yuǎn)程控制，網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷
• 免費(fèi)升級(jí)軟件