MAIA3 -- 場發(fā)射掃描電鏡是新開發(fā)的分析用掃描電子顯微鏡，它可以得到在15kV下1nm的超高分辨率。采用二次電子信號，在1kV下分辨率為1.4nm。此型號電鏡配備肖特基場發(fā)射電子槍，以及TESCAN*的三透鏡電子光學系統(tǒng)。

相比于常規(guī)物鏡，MAIA3 -- 場發(fā)射掃描電鏡采用了TESCAN*構(gòu)造的60度磁浸沒物鏡，它能顯著地減小光學像差，在低電壓下依然有著超高的分辨率。另外，添加的中磁透鏡可以和物鏡同時使用或者代替物鏡觀察，以提供多種顯示模式。
 

重要的特性：

◆ 具有非凡分辨率的單極60度角物鏡；

◆ 無場模式用于磁性樣品的觀察；

◆ 高亮度肖特基電子槍可得到高分辨率/高束流/低噪聲的圖像；

◆ 鏡筒中的In-Beam二次電子探測器用于小工作距離條件下二次電子的檢測；

◆ *的三透鏡大視野觀察設計，提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN專有中間透鏡（IML）的功能；

◆ 實時電子束追蹤技術，可模擬和進行束斑優(yōu)化，包括直接和連續(xù)控制電子束束斑和束流大小；

◆ 電子束減速模式在低電壓下獲取的分辨率(選配)；

◆ In-Beam背散射電子探測器用于小工作距離的背散射電子成像；

◆ 成像速度快；

◆ 高通量大面積自動化，例如自動顆粒分布和分析；

◆ 計算機優(yōu)化、馬達驅(qū)動的樣品臺；

◆ 利于EDX、EBSD分析的理想幾何設計；

◆ 由于使用了強力的渦淪分子泵和機械泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室；電子槍的真空度由離子泵來維持；

◆ 包括電子光學設置和校準的全自動顯微鏡設置；

◆ 完善的軟件用于SEM控制，圖像采集、存檔、處理和分析；多用戶多語言操作界面；

◆ 網(wǎng)絡操作和內(nèi)置的遠程控制/診斷是TESCAN的標準配置；

◆ *的3維電子束技術用于獲得實時立體圖像。

MAIA3 XM

MAIA3是一款*由計算機控制的超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的電子光學性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作軟件等特點。基于Windows™平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理、和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。