真空氣氛管式爐技術參數：

加熱區域：外徑φ60*加熱區L300

工作溫度：300℃

高溫度：1400℃

大真空度：-0.1Mpa

密封方式：304不銹鋼KF法蘭

可能氣氛：所有惰性氣體，氮氣、氬氣、二氧化碳、水蒸氣

升溫速率：≤30℃/Min

控溫度：±1℃

加熱元件：硅碳棒

熱電偶：K型

工作電壓：220V 50HZ

功率：5KW

管材：99剛玉管

二、真空氣氛管式爐-中奧菲達特點：

爐體結構：

1.采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使表面溫度低于70℃（參考值，詳情請）

2.設備中配有2個氧化鋁管堵，設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端（恒溫區和密封圈的密封性）（圖片查看詳細資料）

3.高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

4.該爐可作為退火或擴散爐，大可用于8”晶片放在對應石英舟中

加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以大大程度延長使用壽命）

密封法蘭：

1.采用鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可使真空度達到10-2Torr（參考值，詳情請）

2.可選購套溫度測試裝置（鎧裝熱偶、補償導線和溫度儀表），用于測試爐管內部的溫度

3.左側水冷法蘭：真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭

4.右側水冷法蘭：kf40真空接口，方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。（如果您的泵是kf25接口，你需要個kf40-kf25轉接頭）

溫控系統：

1.包含款YD518P型溫度控制器

2.PID自動控溫系統

3.智能化30段可編程控制

4.控溫度：±1℃

5.兩個溫區分別有兩個獨立的溫控系統控制

6.默認DB9 PC通信連接端口

7.通過MET認證

8.可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據

凈重：約200 kg