技術(shù)參數(shù)

1、機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格

750(W)×550(H)×650(D)mm

2、真空室規(guī)格

進(jìn)口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm

3、電極板規(guī)格

鋁電極 330(W)×315(D)mm

4、真空電極結(jié)構(gòu)

水平電極板 6層

5、真空泵系統(tǒng)

OKSUN機(jī)械旋片真空泵/愛德華干式真空泵

6、PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)硬件

工控可編程控制器及擴(kuò)展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換）德國(guó)西門子

7、人機(jī)工控系統(tǒng)

觸摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人機(jī)工程軟件

奧坤鑫科技自主研發(fā)

9、真空測(cè)定系統(tǒng)

皮拉尼電阻式真空計(jì)，日本愛發(fā)科

10、真空供氣系統(tǒng)

Ф6品牌軟管，國(guó)產(chǎn)品牌

11、真空排氣系統(tǒng)

全不銹鋼管路+波紋管，國(guó)產(chǎn)

12破真空系統(tǒng)

電磁閥式，日本

13、氣體控制系統(tǒng)

電磁閥控制，日本

14、氣體計(jì)量系統(tǒng)

精確質(zhì)量流量控制計(jì)：MFC，SevenStar

15、等離子發(fā)生器

0-500w連續(xù)可調(diào)（13.56MHz）、OKSUN

16、其他組件

國(guó)內(nèi)外元器件

1、機(jī)臺(tái)總重

約40kg

2、額定功率

額定功率 1KW

3、機(jī)臺(tái)供電

AC-380V

4、腔體容積

進(jìn)口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm

5、電極板數(shù)量

水平電極6層

6、單層處理大面積

330(W)×315(D)mm

7、單次處理時(shí)間

工藝不同，處理時(shí)間不同,表面活化改性5-10分鐘內(nèi)

8、工作真空度

20-50Pa

9、真空泵極限壓力

5.0X10-1Pa

10、抽真空時(shí)間

≤60秒（空載測(cè)試）

11、破真空時(shí)間

＜40秒（空載測(cè)試）

12、等離子發(fā)生器功率

0-500W, 全自動(dòng)匹配

13、供氣方式

電磁閥式

14、流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍

0-300sccm（毫升/分鐘）

15、操作方式

人工取放工件，一鍵啟動(dòng)自動(dòng)控制