機臺名稱:等離子體表面處理系統

機臺型號:PMT100A

機臺用途:Ar2或O2或干燥Air等氣體通入，不同組合用于不同工藝制造，可用于塑膠工件，金屬基工件，陶瓷、玻璃等工件表面改性，表面清潔等工藝

一、技術參數

1、機臺整機規格

600(W)×450(H)×550(D)mm

2、真空室規格

進口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm

3、電極板規格

鋁電極 150(L)×120(W)mm

4、真空電極結構

水平電極板 2層

5、真空泵系統

雙極機械旋片真空泵

6、PLC自動控制系統硬件

工控可編程控制器及擴展模塊(D/A轉換、A/D轉換）德國西門子

7、人機工控系統

觸摸屏式全中文界面MCGS

8、PLC及人機工程軟件

奧坤鑫科技自主研發

9、真空測定系統

皮拉尼電阻式真空計，日本ULVAC

10、真空供氣系統

Ф6品牌軟管

11、真空排氣系統

全不銹鋼管路+波紋管

12、破真空系統

電磁閥式/氣動閥，日本CKD

13、氣體控制系統

電磁閥控制

14、氣體計量系統

一路浮子可調流量計

15、等離子發生器

等離子發生器 13.56MHz，OKSUN

16、其他組件

國內外元器件

二、技術指標

1、機臺總重

約40kg

2、額定功率

額定功率 1KW

3、機臺供電

 AC-220V

4、腔體容積

進口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm

5、電極板數量

水平電極2層，極板間距：60mm

6、單層處理大面積

鋁電極 150(L)×150(W)mm

7、單次處理時間

工藝不同，處理時間不同,表面活化改性2-10分鐘內

8、工作真空度

20-60Pa

9、真空泵極限壓力

4.0X10-2Pa

10、抽真空時間

≤60秒

11、破真空時間

≤30秒

12、等離子發生器功率

等離子發生器0-500W可調

13、供氣方式

電磁閥式

14、流量計調節范圍

0.6-6L/m（升/分鐘）

15、操作方式

人工取放工件，一鍵啟動自動控制