機型系列： PA80MET / PA80MET-T ( 落射 / 透反照明型 ) ● 載物臺行程：200 x 200 mm ，PA120MET / PA120MET-T ( 落射 / 透反照明型 ) ● 載物臺行程：300 x 300 mm   八寸晶圓檢查顯微鏡 蘇州卡斯圖電子有限公司 12寸晶圓檢查顯微鏡 麥克奧迪代理商蘇州卡斯圖電子有限公司

采用前置低位粗微同軸調焦系列，即便在超大負荷  工作下也不會出現下滑現象，以及*使用的可靠性。超大行程移動平臺，大移動范圍：305mm X  305mm, 可適用于 12” 的晶圓、LCD 或 FPD 檢測，  也可用于小尺寸樣品的陳列檢測，通過切換離合器手 柄可實現全行程范圍內的快速移動。多樣的照明器可供選擇：12V100W 鹵素燈明場落  射照明，12V100W 鹵素燈明暗場落射照明，可以  根據需要選擇，電器全部內置主機，方便操作。高精度物鏡轉換器：采用精密軸承設計，秉承了 Motic 輕巧舒適的手感和良好的重復定位精度及同心精度。 電動轉換器電動轉換器提高了您的工作流程的速度，標志著 PA53MET 更方便地使用。根據您的需求和偏好，從軟件、框架按鈕  或控制器調整方法中進行選擇，以進一步提高生產能力和效率。明場系列暗場系列  超大工作臺金相顯微鏡

機型 PA80MET PA80MET-T PA80MET-3D PA80MET-T-3D PA80MET-BD PA80MET-BD-T PA80MET-BD-3D PA80MET-BD-T-3D
光學系統 無限遠校正光學系統 (CCIS®)
照明 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射
觀察筒
正像三目頭部 (FN 25)，傾斜角 20°，三筒光路 2 檔選擇：( 目視：相機 - 100: 0，0: 100）
正像雙目頭 (FN 25)，傾斜角 20° ( 選配 )
目鏡
UC-WF 10X/ 25，屈光度可調 +/- 5 ( 標配 )
N-WF 15X/16，屈光度可調 +/- 5( 選配 )
N-WF 20X/12.5，屈光度可調 +/- 5( 選配 )
轉換器
五孔明場轉換器帶 DIC 插槽 五孔暗場轉換器帶 DIC 插槽
電動五孔明場轉換器帶 DIC 插槽 ( 選配 ) 電動五孔暗場轉換器帶 DIC 插槽 ( 選配 )
Plan S-APO 平場半復消色差 金相物鏡
Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9 ( 選配 )
Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3  Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9 ( 選配 )
LPlan S-APO  長距平場半復消色 差金相物鏡（選配）
LPlan S-APO 20X/0.4  LPlan S-APO 50X/0.55  LPlan S-APO 100X/0.8
LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55  LPlan S-APO BD 100X/0.8
調焦機構
行程范圍：29.5 mm，粗調和微調手輪 粗調：17.7 mm / 轉，微調：0.1 mm / 轉 上限位，松緊調節環 電氣 集成電源，用于直流 12V100W 調光。 LED 亮度指示，IL 開關和 ECO 開關
反射主體 Yes / / / Yes / / /
透反主體 / Yes / / / Yes / /
反射 3D 主體 / / Yes / / / Yes /
透反 3D 主體 / / / Yes / / / Yes
反射照明 柯勒照明系統 / 明場，DIC，簡易偏光 柯勒照明系統 / 明場，暗場，DIC，簡易偏光  
光源 12V/100W 長壽命鹵素燈泡
透射照明 / Yes / Yes / Yes / Yes
照明 /
柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
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柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
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柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
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柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
光源 /
12V/100W 長壽 命鹵素燈泡
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12V/100W 長壽 命鹵素燈泡
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12V/100W 長壽 命鹵素燈泡
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12V/100W 長壽 命鹵素燈泡
聚光鏡 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65
載物臺
尺寸 : 325mm ( 寬處 415mm) X 325mm 移動行程：200mm X 200mm 選配：晶圓臺板

明場系列 暗場系列
機型 PA120MET PA120MET-T PA120MET-3D PA120MET-T-3D PA120MET-BD PA120MET-BD-T PA120MET-BD-3D
PA120MET-BD-T3D
光學系統 無限遠校正光學系統 (CCIS®)
照明 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射 反射 反射 / 透射
觀察筒
正像三目頭部 (FN 25)，傾斜角 20°，三筒光路 2 檔選擇：（目視：相機 - 100: 0，0: 100）
正像雙目頭 (FN 25)，傾斜角 20°（選配）
目鏡
UC-WF 10X/ 25，屈光度可調 +/- 5（標配）
N-WF 15X/16，屈光度可調 +/- 5（選配）
N-WF 20X/12.5，屈光度可調 +/- 5（選配）
轉換器
五孔明場轉換器帶 DIC 插槽 五孔暗場轉換器帶 DIC 插槽
電動五孔明場轉換器帶 DIC 插槽（選配） 電動五孔暗場轉換器帶 DIC 插槽（選配）
Plan S-APO 平場半復消色差 金相物鏡
Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9（選配 )
Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3  Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9（選配 )
LPlan S-APO  長距平場半復消色 差金相物鏡（選配）
LPlan S-APO 20X/0.4  LPlan S-APO 50X/0.55  LPlan S-APO 100X/0.8
LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55  LPlan S-APO BD 100X/0.8
調焦機構
行程范圍：29.5 mm，粗調和微調手輪 粗調：17.7 mm / 轉，微調：0.1 mm / 轉 上限位，松緊調節環 電氣 集成電源，用于直流 12V100W 調光。 LED 亮度指示，IL 開關和 ECO 開關
反射主體 Yes / / / Yes / / /
透反主體 / Yes / / / Yes / /
反射 3D 主體 / / Yes / / / Yes /
透反 3D 主體 / / / Yes / / / Yes
反射照明 柯勒照明系統 / 明場，DIC，簡易偏光 柯勒照明系統 / 明場，暗場，DIC，簡易偏光
光源 12V/100W 長壽命鹵素燈泡
透射照明 / Yes / Yes / Yes / Yes
照明 /
柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
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柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
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柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
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柯勒照明系統明場 / 內置濾色片
光源 /
12V / 100W 長壽 命鹵素燈泡
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12V / 100W 長壽 命鹵素燈泡
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12V / 100W 長壽 命鹵素燈泡
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12V / 100W 長壽 命鹵素燈泡
聚光鏡 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65 / LWCD, N.A 0.65
載物臺
尺寸 : 520mm X 400mm 移動行程：300mm X 300mm 選配：晶圓臺板