產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,能源,電子 |
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氣體質量流量控制器ZHC09
產品特性:
*支持多種通訊協議
*高精度、高穩定性
*可控制多種氣體
*可選配控制設備同時控制多臺
*可控制瞬時流量和累積流量
*安裝容易 操作簡單 方便維護
技術參數:
1 | 流量規格 | (0^5、10、50、100、300、500)SCCM , (1、2、3、4、5)SLM |
2 | 控制和顯示精度 | 0.1sccm |
3 | 準確度 | + 0.5% F.S. |
4 | 線性度 | + 1% F.S. |
5 | 重復精度 | + 0.5% F.S. |
6 | 響應時間 | < 1s |
7 | 工作壓差 | 0--1MPa |
8 | 大耐壓 | 1.1MPa |
9 | 環境溫度 | 0-70℃ |
10 | 電氣連接 | Db9(公頭) |
11 | 供電電源 | 15-40VDC |
12 | 模擬量 | DC 0-5V |
13 | 數字量 | RS485、RS232、RS422、CAN總線 |
14 | 氣路接頭 | 4mm、6mm、M8*1 |
15 | 氣路管徑 | 3mm、3.2mm、4mm、6mm |
16 | 氣體種類 | Air He Ar N2 O2 H2 NO CO CH4 CO2 NO2 N2O NH3 |
安裝尺寸:
產品型號表示:
ZHC09-①-②-③
注: ①=數字協議(RS485/RS232/RS422/CAN),
②=氣體類別(Ar/O2/H2/CO2/Air等)
③=流量量程