等離子清洗機(jī)頻率

等離子清洗機(jī)在金屬、塑料凳行業(yè)應(yīng)用廣泛。那等離子清洗機(jī)常用的頻率是哪些呢？
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常用的等離子清洗機(jī)的等離子體激發(fā)頻率有三種：激發(fā)頻率為40HZ的等離子體為真空等離子體，13.56MHZ的等離子體為常壓寬幅等離子體，2.45GHZ的等離子體為大氣等離子體。
不同等離子清洗機(jī)的等離子體產(chǎn)生的偏壓是不一樣的，三種不同的等離子清洗機(jī)的等離子體機(jī)制不同。真空等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，常壓寬幅等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有化學(xué)反應(yīng)又有物理反應(yīng)，大氣則是化學(xué)反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)頻率
真空等離子體清洗對被清潔表面產(chǎn)生的影響大，因而實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用水平真空等離子清洗機(jī)。而常壓寬幅則應(yīng)用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果更佳，典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng)，而是通過離子轟擊使表面清潔。

典型的等離子體化學(xué)清洗工藝是氧氣等離子體清洗。通過等離子體產(chǎn)生的氧自由基非常活潑，容易與碳?xì)浠衔锇l(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物，從而去除表面的污染物。 以物理反應(yīng)為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優(yōu)點(diǎn)在于本身不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，清潔表面不會(huì)留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性，還有一種等離子體清洗是表面反應(yīng)機(jī)制中物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起重要作用，
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