等離子清洗機介質阻擋（DBD）放電研究歷史

1 利用介質阻擋（DBD）放電產生臭氧和氮氧化物

1857年，Siemens利用同軸的圓筒電極結構的DBD放電產生臭氧；1860年，Andrews將此放電命名為無聲放電(silent discharge)。從1860年到1900年的40年間，各界對DBD本身的研究較少，只是通過這種放電來產生臭氧和氮氧化物(NO)。

2 對介質阻擋（DBD）放電特性的研究

20世紀初，Warburg開始了對DBD本身放電特性的研究。1932年，Buss利用平行平板電極結構研究了大氣壓空氣DBD放電特性，同時拍攝了長曝光時間的放電圖像，即所謂的 Liehtenburg圖，并用示波器記載了放電的電流波形。結果表明，放電是由大量發光細絲(即流注)組成，與此相對應，電流波形是由大量的窄脈沖組成。

1943年，Manley在DBD電流回路中串聯一個電容器以收集放電電荷Q，將對應于Q的電壓信號送到示波器的Y輸入；同時將外加電壓送到示波器X輸入。在每一個外加電壓周期T，示波器上得到一個封閉的四邊形圖形，即李薩如(Lissajous)圖形。他還提出可以利用李薩如圖形所包圍的面積S計算放電能量W或功率P。

3 通過實驗發現大氣壓下輝光放電

1987年，日本的Kanazawa利用含氦氣的混合氣體進行大氣壓下DBD實驗，并用肉眼觀察到了均勻放電現象。從此以后，人們認識到，除了細絲放電模式外，大氣壓下DBD還存在均勻放電模式，并且將此均勻放電統稱為大氣壓下輝光放電，即APGD，大氣壓DBD的研究進入新的篇章。

等離子清洗機介質阻擋（DBD）放電研究歷史

大氣等離子清洗機 DBD存在兩種放電模式，即細絲模式和均勻模式，但常見的還是細絲模式，這是由大氣壓下氣體放電特性所決定的。為了避免大氣壓氣體放電形成電弧，人們在氣隙中引入了絕緣介質，構成DBD，目前介質阻擋（DBD）放電仍是學術研究的一個重要項目。