*瑞士INFICON隔膜真空計

INFICON隔膜真空計CDG045D2是一種高精度真空測量儀器，專為惡劣的制造環境而設計。經過驗證的溫控，耐腐蝕，超純陶瓷傳感器可在多年內提供的跨度穩定性，并具有*的零穩定性。Edge附帶INFICON*傳感器屏蔽，可保護儀表免受不良過程副產品的影響。良好的電子元件為所有應用和可選的EtherCAT現場總線接口提供廣泛的可配置信號調理。創新的加熱概念使觸摸表面更加涼爽，節省了寶貴的工具空間。INFICON Edge是同類產品中小的真空測量儀器。

瑞士INFICON隔膜真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發生變形而測量壓強的真空計，其基本原理如圖1所示。電容式隔膜真空計內部有兩個空間，隔膜右側連接真空，左側的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。如果p2 <p1，則隔膜就如圖1所示向右側變形;反之，就向左側變形。隔膜和電極之間處于絕緣狀態，兩者之間的距離隨p2 的變化而改變，從而引起其間的電容變化。反過來，通過測量隔膜和電極之間的電容，就可知隔膜的變形量，繼而推算出壓強。

p1 和p2之間的壓強差很小時，隔膜的變形也很小，要精確地測量真空度，需要隔膜更薄。可是，如果兩側壓強差很大，則隔膜可能發生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。在隔膜兩側分別設置電極而實現的差動式雙電容隔膜真空計，進一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產品。電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關，反應快、重復性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環境的真空測量。

可以*替代美國MKS的真空計。MKS真空計是美國原廠原裝，因為此產品大部分使用在軍工方面，再加上中美貿易戰的影響，美方政府限制MKS的真空計進口到現貨，所以之前很多使用美國MKS真空計的用戶們感到非常頭疼，我司了解到了這樣的情況后，讓我司高級工程師徐工找了很多品牌的真空計試圖替代美國MKS真空計，反復試驗了很多次之后，終于找出了一款可以*替代美國MKS真空計的產品，它就是瑞士INFICON，以上就是我為大家講解的瑞士INFICON其中一款真空計的原理及用途！

*瑞士INFICON隔膜真空計

特點：
緊湊，節省寶貴的工具空間
易于集成，EtherCAT，各種滿量程和法蘭，標準有兩個設定點
輕松一鍵式或遠程信號零點命令，零點偏移可調
診斷端口，用于快速維護和維護
兩年保修，更長的使用壽命，良好的加熱概念和儀表保護
即使在惡劣的等離子應用中，由于出色的信號穩定性和可重復性，也無需長期重新校準
合規性和標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS
典型應用
CVD，蝕刻，PVD和其他半導體生產工藝

產品規格

類型 1000托，1100毫巴 500 ... 1 Torr / mbar

準確度（1） 讀數百分比 0.15 0.15

溫度效應  

零 ％FS /°C 0.0025 0.0025

在跨度上 讀數％/°C 0.01 0.01

壓力，大 kPa（值） 400 260

解析度 百分比FS 0.003 0.003

讀數低 百分比FS 0.01 0.01

建議讀數低 百分比FS 0.05 0.05

建議的低控制壓力 百分比FS 0.5 0.5

溫度  

傳感器 ℃下 45 45

操作（環境） ℃下 +10 ... +40 +10 ... +40

法蘭烘烤 ℃下 ≤110 ≤110

存儲 ℃下 -20 ... +65 -20 ... +65

電源電壓 +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％）

能量消耗  

在加熱期間 w ^ ≤15 ≤15

在工作溫度下 w ^ ≤10 ≤10

輸出信號（模擬） V（直流） 0 ... +10 0 ... +10

回復時間（2） 女士 三十 三十

防護等級 IP 40 IP 40