產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,能源,電子,電氣 |
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AIETC紫外線UV照射器MUVBA-0.4x0.6x0.2
AIETC紫外線UV照射器
AITEC艾泰克晶圓紫外線輻照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 產(chǎn)品說明:
1、它是在用于半導體制造晶片加工(切割和背面研磨)工藝的紫外線固化型膜上照射紫外(UV)光的裝置。(UV膜固化裝置)
2、用于晶片的切割帶的固化應用。
3、每個波長可更換的輻射器。
4、適用于小批量生產(chǎn)應用。
5、采用氮取代(N 2吹掃)機制減少了UV固化過程中的氧氣抑制。
AITEC艾泰克晶圓紫外線輻照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 產(chǎn)品特點:
1、用氮氣(N 2預吹掃)機制(UV膜固化裝置)代替。
2、6英寸,8英寸晶圓兼容。
3、可生產(chǎn)12英寸晶圓。
4、輻照器可交換(365,385,395,405 nm等)。
5、可調(diào)光范圍為0至100%。
AITEC艾泰克晶圓紫外線輻照器MUVBA-0.4x0.6x0.2 產(chǎn)品參數(shù):
型式 | LED発光波長 | 筐體材質(zhì) | 本體寸法[mm] | 本體重量[kg] | 入力電源電圧[V] | 外形図PDF | 外形図DXF | 取扱 説明書 |
MUVBA-0.4x0.6x0.2 | 365nm,385nm,395nm,405nmから選択可能 | ステンレス | W350xD595xH190 | 約20 | AC100-240 | DL | DL | DL |