JED-2300/2300F系列掃描電鏡能譜儀,可進行非導電元素微區分析。使用JEOL*的軟件“ Analysis Station”,通過與SEM的馬達驅動樣品臺聯動使用,可以進行大范圍的觀察和分析,可實現分析結果和分析位置自動對應。掃描電鏡能譜儀通過檢測被電子束激發出的樣品的特征X射線,確定樣品含有的元素及成分比,可以進行微區的點分析、線分析及面分析。
適用JSM-IT200/IT500 等
可以在SEM圖像上分析位置,開始EDS分析。
- VID
將采集的X射線譜圖和Visual PeakID(VID)合成的譜圖進行比較,定性結果可以通過視覺、 數值判斷。
Play Back (回放) 功能
用JEOL制造的EDS采集的元素面分布圖,不僅保存了每一幀中各個像素點的譜圖,還對每一幀中電子束形成的圖像進行了存儲。利用Play back功能,可以進行多角度的分析如觀測譜圖等隨時間的變化等。測試后數據能夠回放,可以觀察到樣品按時間順序發生的變化,這是至今為止無法實現的。此外,利用Play Back功能還可以截取任意的畫面。Smile Station™ 2
Smile Station™2功能通過在多個視野上自動進行分析,生成SEM和元素面分布圖的無縫蒙太奇圖像,也可以在取得的視野上進行連續的元素面分布和點分析等。
Dry SD 檢測器
Dry SD 檢測器(SDD檢測器)與傳統的EDS檢測器不同,不需要液氮制冷。使用快速簡單,同時實現了高分辨率和高計數率處理。