產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子 |
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勻膠機產品特點:
1、穩定的轉速和快速的啟動,可保證膠厚度的*性和均勻性;
2、轉速在12000轉/分范圍內非常穩定,美國國家標準技術研究院(NIST)認證過;
3、采用PLC控制,速度無極調節,在啟動之后一般工藝先以低速運轉使膠攤開,然后自動變到高速運轉,步驟轉速及相應的時間分別可調;
4、數據模擬:勻膠實驗時將一組設定的涂膠速度和時長數值輸入系統,系統會據此計算出適合的速度設定方案,帶有速度隨時間變化的曲線;
5、數據記錄:為了提高實驗的可重復性,設備會在數據記錄模式下,實時記錄下前一次工藝過程的實驗實際值,并將該組數據存儲并重復調用,達到近乎**的可重復性;
6、NPP材質耐腐蝕及抗震;
一、勻膠機性能指標:
1、腔體尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm;
3、轉動速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-13000rpm/sec(空載);
5、馬達旋涂轉速:穩定性能誤差<±1%;
6、轉速調節精度:<0.2rpm,重復性< 0.2rpm;
7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
9、高精度數碼控制器:PLC控制,設置點精度小于0.006%。
10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態;
11、分辨率:分辨率小于0.5轉/分,可重復性小于±0.5轉/分,美國國家標準技術研究院(NIST)認證過的,并且無需再校準!]
12、配套真空泵系統:無油型 220~240伏交流,50/60赫茲;
13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件;
14、*水平測試儀;
應用領域:
鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells
OPV有機光伏
OLED有機發光二極管
OFET & TFT有機場效應晶體管&薄膜晶體管
Graphene &2D石墨烯&二維材料
Substrates襯底
Materials材料
客戶參考:香港理工大學,香港科技大學,香港城市大學,北京大學,清華大學復旦大學,東南大學,北京工業大學,江蘇工業大學,上海大學,北京科技大學,電子科技大學 ,中國地質大學,廈門大學,天津大學,貴州大學,西南師范大學,香港電訊學院,陜西師范大學,北京石油化工學院,重慶西南大學,中國地質大學,北京理工大學,哈爾濱工業大學,哈爾濱工程大學,武漢大學,西安交通大學,四川大學,四川師范大學,同濟大學,天津大學,西南交通大學,南京大學,南京工業大學,華中科技大學,河南大學,鄭州大學等。
*上海硅酸鹽研究所,華為集團、TCL集團等*高校及半導體微電子行業機鈣鈦礦太陽能電池。
主要市場:中國、香港、韓國 、新加坡、美國等國家