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MTM-10 &MTM-20 薄膜厚度監測儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌
  • 型號 MTM-10 &MTM-20
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/5/17 7:45:42
  • 訪問次數 1265

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半導體化工領域專業實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創新精神的高科技公司,專業提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優質專業的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。



勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

產地類別 進口 應用領域 石油,電子,冶金

MTM-10 &MTM-20 高分辨率薄膜厚度監視器
僅適用于Cressington Sputter和Carbon Coaters


高分辨率厚度監視器和厚度控制器基于以下原理:石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質量改變。電子測量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發的材料的密度輸入系統,就在范圍為0-999.9納米的四位LED顯示器上測量厚度為0.1nm的分辨率。

 

MTM-10高分辨率厚度監視器

確保厚度控制的經濟方法
如果不是不可能的話,在沉積期間精確地手動控制膜厚度是困難的。有時使用帶有一滴油的白色瓷磚來粗略估計碳的涂層厚度,但是當需要重復的,可再現的涂層時不能使用。使用儀器設置也不是一種準確的方法,因為真空水平(用于濺射)和時間(用于蒸發)是非常關鍵的參數。高分辨率厚度監視器提供涂層厚度的可重復性,消除猜測并且方便。使用加工因子可以精確測量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度監測儀適用于任何Cressington濺射和碳涂層系統。

系統包括:

MTM-10控制器盒

BNC電纜/ BNC彎頭

振蕩器盒

CS-108真空饋通,帶BNC / SMB連接器和集成O形密封圈

水晶支架電纜7“/ 108mm
水晶支架,M4螺釘尺寸ø19x20mm高。水晶面積ø6mm

 

 

 

MTM-20高分辨率厚度控制器

MTM-20高分辨率厚度控制器專為Cressington濺射涂布機系統設計,與108auto108auto / SE208HR濺射涂布機系統*兼容。

 

 

MTM-10高分辨率厚度監視器和
MTM-20高分辨率厚度監視器規格
一般規格:基于微處理器的4位數顯示,按鈕為零
6MHz晶振,帶有壽命檢查
每秒5次更新率
厚度范圍:0 999.9nm(POS / NEG
解析度:0.1nm用于金或碳
密度范圍:30.00g / CC 0.50
工具系數范圍:0.25 - 8.0
真空饋通:CS 108;直徑10mm,板材/法蘭厚度為9mm
水晶架:不銹鋼ø19x20mmM4螺紋孔,用于安裝,1/2“尺寸的晶體
水晶架電纜:Mini-SMB,母/母之間的水晶支架和CS-108真空穿通裝置
處理器功能:對于MTM-10MTM20,四組值可以存儲在密度下的存儲器中,四組可以存儲在工具下
MTM-20控制器:僅限MTM-20:可編程厚度端接功能,帶終端接口電纜,108自動,208HRDC-100
終端設備范圍為0-999.9nm
MTM-10/20盒尺寸210 x 160 x 77毫米(8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸)

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