MTM-10 &MTM-20 薄膜厚度監測儀
產地類別 | 進口 | 應用領域 | 石油,電子,冶金 |
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MTM-10 &MTM-20 高分辨率薄膜厚度監視器
僅適用于Cressington Sputter和Carbon Coaters
高分辨率厚度監視器和厚度控制器基于以下原理:石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質量改變。電子測量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發的材料的密度輸入系統,就在范圍為0-999.9納米的四位LED顯示器上測量厚度為0.1nm的分辨率。
MTM-10高分辨率厚度監視器
確保厚度控制的經濟方法
如果不是不可能的話,在沉積期間精確地手動控制膜厚度是困難的。有時使用帶有一滴油的白色瓷磚來粗略估計碳的涂層厚度,但是當需要重復的,可再現的涂層時不能使用。使用儀器設置也不是一種準確的方法,因為真空水平(用于濺射)和時間(用于蒸發)是非常關鍵的參數。高分辨率厚度監視器提供涂層厚度的可重復性,消除猜測并且方便。使用加工因子可以精確測量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度監測儀適用于任何Cressington濺射和碳涂層系統。
系統包括:
MTM-10控制器盒
BNC電纜/ BNC彎頭
振蕩器盒
CS-108真空饋通,帶BNC / SMB連接器和集成O形密封圈
水晶支架電纜7“/ 108mm
水晶支架,M4螺釘尺寸ø19x20mm高。水晶面積ø6mm
MTM-20高分辨率厚度控制器
MTM-20高分辨率厚度控制器專為Cressington濺射涂布機系統設計,與108auto,108auto / SE和208HR濺射涂布機系統*兼容。
MTM-10高分辨率厚度監視器和 MTM-20高分辨率厚度監視器規格 | |
一般規格: | 基于微處理器的4位數顯示,按鈕為零 6MHz晶振,帶有壽命檢查 每秒5次更新率 |
厚度范圍: | 0 999.9nm(POS / NEG) |
解析度: | 0.1nm用于金或碳 |
密度范圍: | 30.00g / CC 0.50 |
工具系數范圍: | 0.25 - 8.0 |
真空饋通: | CS 108;直徑10mm,板材/法蘭厚度為9mm。 |
水晶架: | 不銹鋼ø19x20mm。M4螺紋孔,用于安裝,1/2“尺寸的晶體 |
水晶架電纜: | Mini-SMB,母/母之間的水晶支架和CS-108真空穿通裝置 |
處理器功能: | 對于MTM-10和MTM20,四組值可以存儲在密度下的存儲器中,四組可以存儲在工具下 |
MTM-20控制器: | 僅限MTM-20:可編程厚度端接功能,帶終端接口電纜,108自動,208HR和DC-100 終端設備范圍為0-999.9nm |
MTM-10/20盒尺寸 | 210 x 160 x 77毫米(8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸) |