Triton 40桌面型多功能等離子清洗設備

應用領域

表面清潔與活化

• 材料表面有機污染物的去處

• 去處納米級金屬氧化層

• 增強表面膠體流動性，消除涂層、塑封料的分層

• 提升表面能，實現難粘材料的有效結合

• 表面粗化與微蝕：消除表面應力，使材料更易結合。

表面粗化及微刻蝕

• 納米級表面粗化，應力釋放。

• 光刻膠去除

• 對多種材料的選擇性刻蝕

Triton 40桌面型多功能等離子清洗設備

設備特點

• 設計緊湊的桌面型等離子工藝平臺，易于與廠務端連接

• 可靠的腔體結構設計，確保工藝腔體具備氣密性與耐用性

• 優秀的進氣、排氣設計，保證工藝過程的均勻性

• 支持多種電極形式與多4路工藝氣體，適用于處理各種產品并適應多種工藝要求

• 直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實時觀察、控制工藝過程

• 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統，具有優異的穩定性和可重復性