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安徽皖儀科技股份有限公司

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UL1000 Fab UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

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UL1000 Fab

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光學檢測設備,光電成像系統,光電器件材料及時頻

價格區間 面議 儀器種類 氦質譜檢漏儀(進口)
應用領域 醫療衛生,生物產業

UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀提供的*的泄漏率低達 < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL(智能泄漏率計算法)讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應時間的煩惱,因為 UL1000 Fab 能夠對所有泄漏率范圍做出快速響應。

UL1000 Fab 干式氦氣檢漏儀

功能

• 15 級的寬測量范圍

• 較短的抽氣和響應時間

• I-CAL(智能泄漏率計算法)確保了在所有測量范圍中提供較快的泄漏響應時間

• 抑零功能和自動積分時間校正,可提供快速、可靠的泄漏檢測結果

• 含堅固耐用低真空泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計,提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比

• 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染

• 自動吹掃循環可確保清理并隨時可進行泄漏檢測

• 可通過電子郵件進行軟件更新

• 內置軟件菜單“自動測漏”功能可執行密封組件的自動測試(可選 TC1000 測試盒)  

 

 

                  應 用

• 對半導體加工工具執行維護作業,無論是否具有自有泵支持

• 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用

• 在現有工具中安裝前對部件執行檢漏

• 工藝氣體系統的檢查和安裝

• 內置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執行密封組件的自動測試



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