ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦質譜檢漏儀是一種全功能氦質譜檢漏儀，與我廠生產的擴散泵型儀器相比，采用了德國萊寶的渦輪分子泵作儀器的高真空機組，優化了真空系統及控制閥門的設計，顯示部分采用了嵌入式工控計算機，微機系統控制。適用于生產線上對大批量零件的檢漏（噴氦法或背壓法），也可用吸槍作吸氦法檢漏。

     
ZLS－25D/M、ZLS-25D/T型氦質譜檢漏儀主要特點：
1.1 微機系統控制，人機對話方式操作
1.2 7英寸觸摸式液晶顯示屏，大字符漏率顯示，
    漏率直讀，四種常用漏率單位轉換
1.3 自動掃描氦峰，具有圖形顯示和保存功能
1.4 動態清除本底
1.5 檢漏過程曲線顯示
1.6 檢漏數據保存功能
1.7 聲訊報警，報警點可程序設置
1.8 自帶一套輔助系統，可作噴氦法、吸氦法和背壓法檢漏
1.9 進口渦輪分子泵

要技術參數：
2．1 儀器小可檢漏率：優于 5×10^-12Pa·m³／s
2．2 儀器的反應時間：不大于3s
2．3 儀器質譜室允許工作的高壓強：1×10^-2 Pa 
2．4 儀器測試口允許工作的高壓強：1000Pa
2．5 被檢件由粗抽至檢漏的自動切換點（檢漏點）可調范圍：40～10^-1Pa
  
主要部件配置：
3．1 渦輪分子泵     國產       1臺
3．2 前級泵       國產       1臺
3．3 粗抽泵       國產       1臺
3．4 質譜分析室  成都儀器廠  1套
3．5 校準漏孔（帶檢定證書）   1支