應用領域 | 電子 |
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CNI v3.0 PV是用于納米壓印和熱壓印的小型桌面工具,可完成微米和納米結構從模板復制到基質。
CNI v3.0 PV納米壓印機可以執行熱壓印以及紫外壓印,CNI納米壓印機是納米復制的完美起點,同時也支持成熟和高級的開發工作,納米壓印機操作簡單,堅固耐用,便于非標準流程和新實驗。
易于安裝 即插即用(不到20分鐘的時間內就可運行工作)
優勢 憑借其熱壓印和紫外壓印的功能,如果需要,在真空中,CNI v3.0 PV納米壓印機在其產品中是非常好的,并支持許多不同的技術和工藝。
使用方便 無需查看使用手冊,每個人都能使用;
緊湊尺寸 26*30*14cm(120mm腔室的尺寸);
42*44*14cm(210mm腔室的尺寸);
安裝 CNI結構緊湊,無需固定安裝;
高質量壓印 能夠將小于40nm的結構復制到大于100µm的結構;
多功能 可使用任何尺寸的印章和模板,直徑大210mm(8英寸)圓形的模板;
技術支持 提供個性化支持,專注于您的加工需求;
特征:桌面大小的納米壓印工具
熱壓印溫度高達250℃
紫外納米壓印,365nm曝光(or 405nm–自定義選項)
壓印壓力從0.3到11bar
在真空壓印1mbar
印章和基材尺寸:直徑可達210mm
印章和基材沒有固定的樣式
堅固且易于使用
手動裝卸印章和模板
自動程控
軟件操作界面簡單
可記錄所有步驟和流程
CNI V3.0支持許多不同的技術:
熱納米壓印
UV納米壓印
熱壓印
微米結構壓印
聚合物粘合
舉例:
納米結構壓印
微結構壓印
硅片上納米間距的光柵壓印
在軟性的基材上壓印(如III-V材料,InP)
印章生產
高縱橫比結構的熱壓印
聚合物熱壓印
熱聚合物粘合
要求:
現場安裝的技術要求
壓縮干燥空氣或氮氣壓力6-11bar,外徑6mm連接器,流量至少應該1/2標準L/min;
在10mm外徑連接器中,真空度優于0.1mbar(如果有真空選項);
功率:110-240V (50-60HZ, 大于200W);
環境
應安裝在干凈、無塵和無顆粒的環境,以達到Z佳效果;
工作溫度范圍10-35℃;
工作濕度范圍30-70%;
其他
增壓器:如果你的實驗室不能提供高于6 bar的壓縮空氣壓力,NILT可以提供一個增壓器,可以將3-5 bar加到6-10 bar;
真空泵選項:NILT建議使用Edwards nXDS6i干式渦旋真空泵。任何其他相似或更好規格的泵也可正常工作;
規格:
壓力:0.3-11bar
溫度:高達200℃,精度+/-1℃,可選高溫模塊,適用于250℃
紫外線曝光:在120mm腔室中,波長為365mm或405 nm的紫外線LED燈,光功率為12 W,在210 mm腔室中為~100mW/cm2或~165mW/cm2的光功率為57W
真空:可將腔室抽真空至低于1mbar的壓力
腔室尺寸:- 直徑120毫米,高度20毫米(大可擴展到45毫米)
- 直徑為210毫米,高度大為20毫米(無法擴展)
自動復制過程:手動裝載印章和基材;通過CNI軟件控制,整個復制過程*自動化軟件:全程控制和靈活性 除了裝載和卸載之外的所有東西都由軟件處理
CNI定制: 可根據您的需求定制
在線視頻說明:在線安裝視頻和操作提示
可選項: 增壓器可將實驗室壓縮空氣供應從3-5bar提升至6-10bar,由NLT人員進行培訓和/或安裝