PECVD
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 合肥康帕因設備技術有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/4/29 10:13:29
- 訪問次數 3173
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PECVD化學氣相沉積設備質量流量控制系統一款多路質量流量計控制系統,其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜Z大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數管式爐配套使用時,可將設備置于移動柜上以節約空間。
工作溫度:5~45?C
zui大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±(0.5-1.5)%F.S
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
PECVD注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用
化學氣相沉積設備CVD1200C-II-SL200D50-5Z雙溫區滑軌式CVD系統由雙溫區滑軌爐、質子流量控制系統、真空系統三部分組成。雙溫區滑軌爐可移動并可實現快速升降溫;PLC控制5路質子流量器,能夠精確控制系統的供氣;真空泵可實現對管式爐快速抽真空。CVD(化學氣象沉積系統)常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設備技術參數