SE+SR-XYZ Auto Stage全光譜橢偏儀
- 公司名稱 致東光電科技(上海)有限公司-J
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/3/22 13:22:45
- 訪問次數(shù) 1026
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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SE+SR-XYZ Auto Stage全光譜橢偏儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種吸引力的測(cè)量?jī)x器。SE+SR-XYZ Auto Stage全光譜橢偏儀反演問題的方法就是在衰減分析中,應(yīng)用Levenberg-Marquardt算法。利用比較方程,將實(shí)驗(yàn)所得到的數(shù)據(jù)和模型生成的數(shù)據(jù)比較。通常,定義均方誤差為:
在有些情況下,小的MSE可能產(chǎn)生非物理結(jié)果。但是加入符合物理定律的限制或判斷后,還是可以得到很好的結(jié)果。衰減分析已經(jīng)在橢偏儀分析中收到成功的應(yīng)用,結(jié)果是可信的、符合物理定律的、精確可靠。