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SE-RD-Z全光譜橢偏儀

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橢偏儀

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橢偏儀,反射儀,光譜儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議

SE-RD-Z全光譜橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。SE-RD-Z全光譜橢偏儀反演問題的方法就是在衰減分析中,應(yīng)用Levenberg-Marquardt算法。利用比較方程,將實驗所得到的數(shù)據(jù)和模型生成的數(shù)據(jù)比較。通常,定義均方誤差為:
在有些情況下,小的MSE可能產(chǎn)生非物理結(jié)果。但是加入符合物理定律的限制或判斷后,還是可以得到很好的結(jié)果。衰減分析已經(jīng)在橢偏儀分析中收到成功的應(yīng)用,結(jié)果是可信的、符合物理定律的、精確可靠。



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