升華系統(tǒng)

-提高下一代OLED顯示器有機(jī)原材料的純度。

-高真空維持技術(shù)，實現(xiàn)高純度有機(jī)材料的研發(fā)與量產(chǎn)。

-實際檢測石英管內(nèi)部溫度后，進(jìn)行偏差補(bǔ)償

-安裝液氮雙阱，提高真空度，有效阻止泵回流

-氣化低溫氮氣（-100度～-50度）的再利用實現(xiàn)液氮高效性，節(jié)省成本

-延長真空計使用壽命

-設(shè)計簡化

 1)緊湊設(shè)計，無真空死角。

 2)零部件容易安裝拆卸。

 3)各設(shè)備部件內(nèi)層，外層，都進(jìn)行表面處理。

 4)使用拋光不銹鋼材料，外形美觀且便于清洗。

-根據(jù)客戶需求制定真空室的直徑:

   50，80, 100, 120, 150, 200, 250, 300, 400,  500(mm)

-擁有供應(yīng)多臺R&D設(shè)備（50mm～120mm ）的業(yè)績： 50臺以上。

-擁有供應(yīng)多臺量產(chǎn)型設(shè)備（200mm～300mm ）的業(yè)績：50臺以上。

-有多種真空泵的組合模式： Rotary Pump + Diffusion pump ; Dry Pump + Turbo Pump; Dry Pump + cryo Pump.

-保障在業(yè)界擁有較好水平的截面溫度均一性。

-保障產(chǎn)品的高收益及高真空度。

- 開發(fā)了橫向型，縱向型升華設(shè)備。

升華系統(tǒng)