HORIBA堀場HF密度計HF-960EM
- 公司名稱 青島澳海源國際貿易有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 日本
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/7/30 17:32:44
- 訪問次數 1375
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價格區間 | 5千-1萬 | 檢測類型 | 測液體樣品 |
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密度測量范圍 | 1g/cm3 | 密度精度 | 1g/cm |
密度溫度范圍 | 10℃ | 行業應用 | 通用密度計 |
儀器類別 | 臺式 | 儀器種類 | 真密度計 |
應用領域 | 環保 | 最小取樣量 | 1ml |
HORIBA堀場HF密度計HF-960EM
用于半導體制造工藝的HF濃度計HF-960EM
HF-960EM是使用帶有*潤濕部件的傳感器作為PFA的型號,并且符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限,實現了節省空間的安裝。提高穩定性和重現性準確性,并支持高達50%HF濃度的寬量程。
特征
寬范圍設置,HF濃度高達50%
高穩定性/再現性精度
內置溫度測量傳感器支持高達80℃的HF樣品測量。 FS精度達到±0.5%。
自動量程功能
無污染/耐化學腐蝕傳感器
清潔結構的傳感器,僅使用PFA作為液體接觸材料。由于它是一種耐化學腐蝕的傳感器,因此可以用于測量半導體工藝中使用的各種化學物質。
小型輕巧的傳感器
與我們的傳統產品相比,尺寸縮小了2/3,并且重量進一步減輕。通過將其安裝在單晶圓噴嘴的前面,可以提高安裝空間的靈活性
仕様
型式 | HF-960EM |
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測定レンジ | HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm |
繰り返し性 | フルスケールの+/- 0.5% 以內(等価入力にて) |
直線性 | フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以內(等価入力にて) |
伝送出力 | 出力點數:4點 |
接點出力 | 出力點數:5點 |
接點入力 | 入力點數: 2點 |
通信機能 | RS-485 |
電源 | DC 24 V +/- 10% 15W |
適合センサ | CM-520 Series |
接液部 | PFA |