中型等離子清洗機：
主要應用于LCD、連接器、鍵合前等大規模生產領域。

特點：所有元器件及核心部件采用進口，保證了整機的穩定性和使用壽命。

真空泵采用進口旋片泵，是適用于等離子工藝環境使用的可長時間工作的體系，在抗氧化、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小。

控制方式：自動控制系統采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數、工藝過程實時監控，并顯示運行狀態、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。

標準型號：NT-60、NT-80、NT-100、NT-120、NT-150。

◎可存儲50組工藝配方，隨意調用。
◎清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設定可調。
◎工藝參數受密碼保護，分級密碼管理查詢。
◎一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清潔結束提示等。
◎自動提醒系統維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
◎氣體質量流量計采用美國進口，由模擬輸入輸出，量程為0～200sccm可在量程范圍內無級調節，根據特殊的工藝要求可用PLC可對質量流量計進行PID調節而實現真空度的控制。
◎根據特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過濾器，過濾返油裝置等。電極結構的高等離子通量設計能很好地提高等離子體地均勻性及穩定性。