MX63/MX63L半導體FPD/工業檢測顯微鏡
- 公司名稱 杭州全譜實驗室設備有限公司-J
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2018/12/14 10:11:00
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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MX63/MX63L半導體FPD/工業檢測顯微鏡
MX63/MX63L半導體FPD/工業檢測顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了的圖像分辨率和鮮明度。
· 考慮了檢查效率的設計
· 鮮明圖像和的分辨率為特點的光學系
· 軟件方案
· 支持缺陷檢測的多種功能
· 幫助實現多種觀察的附件
半導體FPD /wafer檢查顯微鏡規格 | MX63L | MX63 | |||
光學系統 | UIS2光學系統(無限遠校正) | ||||
機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光/紅外/MIX觀察(4個定向暗場) | |||
反射/透射 | 反射/透射 | ||||
照明裝置 | 機身一體型(明視場,暗視場+1選件) | ||||
照明系統 | 反射照明 | 白光LED/100 W鹵素/100 W汞燈 | |||
透射照明 | 纖維光導 | ||||
對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | |||
行程 | 32 mm | ||||
分辨率/微調靈敏度 | 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm | ||||
最大樣本高度 | 30 mm | ||||
物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | |||
明暗視場微分干涉5孔 | |||||
明暗視場微分干涉6孔 | |||||
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||||
手動式 | - | ||||
載物臺 | 行程 | 帶內置離合驅動的同軸有手柄 行程:356x284毫米 |
帶內置離合驅動的同軸有手柄
透射光照明區域:189毫米x189毫米 帶內置離合驅動的同軸右手柄
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觀察筒 | 廣角視場 | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 | ||
正像 | 三目觀察筒 | ||||
超寬視場 | 倒置 | 三目觀察筒 | |||
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||||
重量 | 64 kg(標準組合) | 50 kg(標準組合) |