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真空腔體水氣解吸附組件

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  • 公司名稱 科睿設備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/8/28 7:57:34
  • 訪問次數 1547
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解吸附組件

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科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質』、『服務』、『創新』的企業文化,為廣大中國用戶提供儀器、設備,周到的技術、服務和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發展的中國,納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發、有機高分子合成等等領域,都需要與歐美發達國家*接軌的儀器設備平臺來實現。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港,在中國上海設立了分公司,在國內多個城市設立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供*的產品和服務。2010年,科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務,我們擁有專業的應用維修人員,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應,72小時內趕到現場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務!
      因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據用戶的要求配制和提供了上百套系統,主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導體所,中科院大連化學物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學,清華大學,中國科技大學,南京大學,復旦大學,上海交通大學,華東理工大學,浙江大學,中山大學,西安交通大學,四川大學,中國工程物理研究院,香港大學,香港城市大學,香港中文大學,香港科技大學等。



光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發鍍膜儀,開爾文探針系統(功函數測量),氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(PECVD),原子層沉積系統(ALD),快速退火爐,氣溶膠發生器,稀釋器,濾料測試系統

產地類別 進口 應用領域 電子,電氣,綜合

真空腔體水氣解吸附組件

真空腔體水氣解吸附組件

Zcuve是近年來國際上較多使用的水蒸氣解吸技術。*的設計可從2.75“擴展到8”法蘭尺寸,具有比例較高的紫外線功率因數和較大的法蘭尺寸。

Zcuve的設計目的是在真空室內不可能有一個暴露的紫外線發射器的情況下,從大型沉積室中解吸水。標準現成的百葉窗可用于防止Zcuve在沉積過程中被涂層。

這一過程在O型環(氟橡膠)密封真空室(沒有任何其他烘烤方式)上效果好,也適用于較小尺寸的樣品傳輸。


技術參數:

型號

法蘭口徑

Z275

2.75" / 40 CF

Z450

4.5" / 63 CF

Z600

6.0” / 100 CF

Z800

8.0” / 160 CF


An external assembly houses the UV emitter, which is situated just behind 高紫外線透射,超高真空窗。發射器背面的一面鏡子進一步改善了185納米紫外線輻射通過窗戶進入真空室的傳輸。Zcuve外殼用惰性氣體進行回填,以防止外殼內產生臭氧。最后,發射極引線經由mhv高壓連接器連接至控制裝置。

主要特點:

利用紫外輻射解吸水蒸氣的優點是產生很少的熱量。更少的熱量意味著更少的機械零件和樣品損壞。另一個優點是,uvc不需要直接的現場線路來解吸水蒸氣。它不能進入角落和縫隙,但它可以反射拋光表面(如室壁),每次“反彈”損失50%到70%。

UVB-100
uvb-100使用uvc輻射無需加熱就可以釋放水蒸氣。發射器伸入真空室。

ZCuVE
零間隙紫外發射器水蒸氣解吸系統(Zcuve)利用紫外輻射無熱解吸水蒸氣。發射器位于真空室外面。

注:這些水蒸氣解吸產品設計用于高真空系統、大真空、氣室和樣品傳輸。它們的設計并不是為了取代超高真空系統中的輻射烘烤方法,而是與特高壓兼容。




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