HEIDENHAIN光柵尺

HEIDENHAIN光柵尺

光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。

HEIDENHAIN光柵尺

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HEIDENHAIN光柵尺

封閉式光柵尺能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機床的理想選擇。 
敞開式光柵尺與讀數頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。這些光柵尺的典型應用包括：測量機、
比較儀和其它長度計量精密設備以及生產和測量設備，例如用在半導體工業中。 
增量式光柵尺決定當前位置的方式是由原點開始數測量步距或細分電路的計數信號數量。海德漢
的增量式光柵尺帶有參考點，開機時必須執行參考點回零，操作非常簡單、快捷。 
式光柵尺無需執行參考點回零操作就能直接提供當前位置值。光柵尺的位置值通過
EnDat接口或其它串行接口傳輸。

封閉式直線光柵尺

海德漢公司的封閉式直線光柵尺能有效防 塵、防切屑和防飛濺的切削液，是用于機 床的理想選 
擇。
精度等級 ± 2 μm
測量步距至 0,001 μm
測量長度至30 m
安裝簡單、快捷
安裝公差大
能承受大加速度載荷
抗污染能力強

封閉式直線光柵尺有
標準光柵尺外殼
– 用于振動強烈的應用
– 最大測量長度30 m
緊湊光柵尺外殼
– 用于有限安裝空間應用
– 最大測量長度1240 mm， 如果用安裝板或緊固件，最大測量長 度2040 mm
海德漢封閉式直線光柵尺的鋁外殼有效保 護光柵尺、讀數頭和導軌，避免其受灰 塵、切屑和切削液的影響。 自動向下壓的 彈性密封條保持外殼密封。 

讀數頭沿光柵尺的小摩擦力導軌運動。 讀 數頭通過一個聯軸器與外部安裝架連接， 聯軸器可 
以補償光柵尺與機床導軌間不可 避免的對正誤差。

NC數控機床用直線光柵尺

用于數控機床的海德漢直線光柵尺幾乎適用于任何應用。它是所有進給軸為伺服控制環模式的機器和設備的選擇，例如銑床、加工中心、鏜床、車床和磨床。 直線光柵尺的動態性能優點，允許的運動速度高，沿測量方向的加速性能使其不僅能滿足常規軸高動態性能要求，也能滿足直接驅動電機的高動態性能要求。

緊湊外殼直線光柵尺

緊湊外殼的直線光柵尺設計用于安裝空間有限的地方。 如果測量長度較大和加速負荷較大，可 
能需要使用安裝板或固定件。

標準外殼直線光柵尺

標準外殼直線光柵尺突出特點是結構堅固、抗振能力強和測量長度大。讀數頭通過一個斜板連接 
安裝架，因此允許垂直安裝和水平安裝，并具有相同的防護等級。 
直線光柵尺用于手動機床

對于銑床或車床等手動機床的典型應用，10 μm或5 μm的顯示步距足以滿足應用要求。LS 300 
和LS 600系列直線光柵尺提供這樣的顯示步距，其1米行程范圍的精度等級為± 10 μm。
帶滾柱導軌的增量式直線光柵尺LS 1679

LS 1679是為折彎機特別開發的。其高精度和高重復精度的基礎是高精度的玻璃光柵尺和高質量 
的內置軸承。優質鋼的導軌和滾柱軸承副使其非常堅固耐用。連接床身的方式有多種，球頭連接 
的自由度最高。除5 μm測量步距的標準分辨率外，還提供1 μm版。為是安裝到兩個C形立柱 
上，提供右側電纜引線和左側電纜引線版。 
敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設計用于對測量精度要求*的機床和系統。 

典型應用包括：
半導體業的測量和生產設備
PCB電路板組裝機
超高精度機床
高精度機床
測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精密測量設備
直驅電機

533110-02

534904-04

393000-14 AE ERM 280

1131753-17 ROQ425

376837-02 ROD 436 2048

232715-03 MT 25P 02S09 04 

331667-01

651871-01 AK LIC 401 

658492-01

310127-03

594878-01

369428-01 AK LIDA 48

332433-05

810800-24 ECN 113-2048

533631-03 PWM 20/IK 215 

533631-03 PWM 20/IK 215 

360645-06

1117852-03

805375-03

310128-06

337147-01

310125-03

310573-03

369129-03 PWM 20/IK 

727222-57 ERN 1381-2048

337148-01

359651-02 CC 422

358699-03 RON 285 18000

535046-N2

318118-07 AK LIDA 18C

HEIDENHAIN光柵尺

莫爾條紋

以透射光柵為例，當指示光柵上的線紋和標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度θ，并且兩個光柵尺刻面相對平行放置時，在光源的照射下，位于幾乎垂直的柵紋上，形成明暗相間的條紋。這種條紋稱為“莫爾條紋”嚴格地說，莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度，以W表示。
[莫爾條紋] 莫爾條紋
W=ω /2* sin（θ /2）=ω /θ 。 
莫爾條紋具有以下特征：
(1)莫爾條紋的變化規律
兩片光柵相對移過一個柵距，莫爾條紋移過一個條紋距離。由于光的衍射與干涉作用，莫爾條紋的變化規律近似正(余)弦函數，變化周期數與光柵相對位移的柵距數同步。
(2)放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下，莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關系。式中，θ的單位為rad，W的單位為mm。由于傾角很小，sinθ很小，則
W=ω /θ
若ω =0．01mm，θ=0.01rad，則上式可得W=1，即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成，例如每毫米100線的光柵，10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋，這樣柵距之間的相鄰誤差就被平均化了，消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。

HEIDENHAIN光柵尺

有三種不同的機械結構：

封閉式角度編碼器、空心軸和內置定子聯軸器的角度編碼器

由于定子聯軸器的結構和安裝原因，軸進行角加速度時，定子聯軸器必須只吸收軸承摩擦所導致 
的扭矩。因此RCN、RON和RPN角度編碼器具有出色的動態性能。對內置定子聯軸器的角度編碼器 
，技術參數中的系統精度已包括聯軸器的偏差。：  

更多優點
尺寸小，適用于安裝空間有限的地方
空心軸直徑可達100 mm，便于穿電源線等
安裝簡單

封閉式角度編碼器，采用分離聯軸器

采用分離聯軸器、實心軸的ROD角度編碼器特別適用于軸轉速高并要求較大公差的應用。高精度 
的聯軸器允許± 1 mm以內的軸向運動。

光學掃描的模塊型角度編碼器

無內置軸承的ERA和ERO角度編碼器（模塊式角度編碼器）適用于安裝在機器部件或裝置上。用于 
滿足以下需求： 
大直徑空心軸（最大可達10 m的帶尺） 
軸轉速高，最高可達20000 rpm
沒有軸密封帶來的附加啟動扭矩 
扇形角 

磁性掃描的模塊型角度編碼器

海德漢公司的ERM系列模塊化編碼器由一 個磁柵鼓和一個磁阻傳感器掃描單元組 成。其測量基 
準MAGNODUR和磁阻掃描 原理使其對污染特別不敏感。

角度編碼器模塊

海德漢的角度編碼器模塊由角度編碼器與高精度軸承組成，并已調整至是配合狀態。該角度編 
碼器模塊的特點是測量精度及軸承精度高，且分辨率*并具有最高重復精度。啟動扭矩低，因 
此運動平穩。
玻璃圓光柵碼盤的角度編碼器

應用領域： 高重復精度和高分辨率的旋轉軸
- *信號周期數
- 較小安裝空間
- 較小細分誤差和較低信號噪音
鋼光柵鼓光柵的角度編碼器

應用領域： 回轉工作臺，擺動銑頭，高精度和高動態性能電機
- 直徑范圍大
- 允許的軸速高
- 高精度
- 多種柵鼓形狀
- 多種每圈線數
- 防護蓋，提高抗污能力
鋼帶光柵的角度編碼器

應用領域：大型回轉工作臺，天文望遠鏡，特殊應用
- 直徑范圍大
-  整圓版和非整圓版
- 多種直徑可選
- 高精度
- 內側或外側光柵尺帶
模塊式磁柵編碼器

堅固耐用的ERM模塊式磁柵編碼器特別適用于生產型機床。 它的內徑大，讀數頭尺寸小和結構緊 
湊使它成為以下應用的理想選擇： 
車床C軸，
回轉和擺動軸（例如直接驅動系統的速度測量或用在齒輪傳動中），和 
銑床主軸或輔助軸的定向。
角度編碼器模塊

810416-01

810421-01

557647-08

643450-03 PWM 20/IK

1131752-06 ROQ424 512

209081-16 LS903 520

232715-03 MT 25P 02S09 04 

617765-N2

348249-01

810415-01

533631-05

823901-52 EQN 1325

533631-06

805452-03

533631-09

735117-56

533110-01

355884-01 RON 786 18000 

310128-03

557673-14

557679-11 LC 183 ML 1140mm

331589-2F AK ERA 180 18000 02S12-03

243602-06 MT 12 02S09 04

810800-24 ECN 113-2048

894602-01 DA 400

331314-02 MT 1281 02S12 03

376846-KA ROD426400002S12-03

635066-56 ERN 1381 2048 62S14-70

605379-01 LS 477 ML70mm

682434-08 LF185C 740

ROD431  ID：317393-02

 LS476  720毫米 + -5um

 LS477 ML720 + -5um

 LS177 ML2240 + -5um,TTLX5

 LS177 ML1140 + -5um,TTLX5

ERN1387-2048, ID:385488-52

RON350-2408ID：25442603

 RON350-2048ID：254426-04

RCN1132048 ID：528100-30

ST 1278 93S15 7K A TTLx10 100.00 OT 01 .. 01 5mm 90 1.50 19 67 1.0 383965-23   

ST 1207 02S09 7K A ~11μApp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383972-01   

ST 1277 93S15 7K A TTLx5 100.00 OT 01 .. 01 5mm 90 1.50 19 64 1.0 383973-01   

ST 1277 93S15 7K A TTLx10 100.00 OT 01 .. 01 5mm 90 1.50 19 64 1.0 383973-02   

ST 1287 02S12 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383975-01   

ST 1208 02S09 7K A ~11μApp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383976-01 

ST 1208 02S09 7K R ~11μApp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383977-01   

ST 1288 02S12 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383978-01   

ST 1288 02S12 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383978-21   

ST 1288 02S12 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383979-01   

ST 1288 02S12 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383979-21   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383987-01   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 0001 01 5mm 360 1.50 19 50 1.0 383987-03   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 0023 01 5mm 360 1.50 19 50 1.0 383987-04   

ST 1288 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383987-21   

ST 1288 16S15 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 383989-01   

ST 1288 16S15 7K R ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 67 1.0 383989-21   

ST 1287 16S15 7K A ~1Vpp 0.00 .. 01 .. 01 5mm 360 1.50 19 64 1.0 384005-01   

MT 25 16S15 2D ~11μApp 01 0002 1.50 01 5.5mm 50 ES 10.000 GF 01 0.5 663955-01   

MT 25 16S15 2D ~11μApp 01 .. 1.50 01 5.5mm 50 ES 10.000 GF 01 0.5 663955-07   

AT 1217 3YS08 C4 EnDat22 23 01 .. 01 64 GF 03 2.0 12 680982-01   

AT 1218 3YS08 C4 EnDat22 23 01 .. 01 67 GF 01 2.0 12 680983-01   

AT 3017 3YS08 C4 EnDat22 368 01 .. 01 A1 GF 03 2.0 30 680984-02   

AT 3018 3YS08 C4 EnDat22 368 01 .. 01 67 GF 01 2.0 30 680985-02 

533631-03  PWM 20/IK 215 

607720-01  

760907-09  LC 195F ML 940mm 

533631-09  

360645-03  CABLE 3m

HEIDENHAIN光柵尺

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