佳捷倫提供KeysightB1500A測(cè)量CNTFET和CNTSET
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佳捷倫提供KeysightB1500A測(cè)量CNTFET和CNTSET
KeysightB1500A半導(dǎo)體器件分析儀
國(guó)外的碳納米管(CNT)結(jié)構(gòu)讓科學(xué)界產(chǎn)生了極大的興趣。碳納米管有很多潛在應(yīng)用，但當(dāng)前納米
技術(shù)研究的重點(diǎn)大多集中在電子元件結(jié)構(gòu)上，例如碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)和碳納米管單電
子晶體管(SET)。

多年來(lái)，Keysight4155C和4156C實(shí)際上已經(jīng)成為表征半導(dǎo)體器件的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試儀器。而
且，它們還是表征納米技術(shù)器件的有效工具。不過(guò)，在分析納米技術(shù)器件的電子屬性時(shí)，新型
KeysightB1500A半導(dǎo)體器件分析儀也是*的儀器，并且它還具有4155C和4156C所不具備的
優(yōu)點(diǎn)。
本應(yīng)用指南以日本大阪大學(xué)的K.Matsumoto教授所做的一項(xiàng)研究為基礎(chǔ)。Matsumoto教授以
4156C精密半導(dǎo)體參數(shù)分析儀為測(cè)量工具，重點(diǎn)研究手征性是如何決定碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管
(CNTFET)及碳納米管單電子晶體管(CNTSET)的電子屬性的。新型B1500A同樣適用于這項(xiàng)研究，
且B1500A還具備其他優(yōu)點(diǎn)，例如它有一個(gè)包含進(jìn)行測(cè)量所必需的應(yīng)用測(cè)試的應(yīng)用程序庫(kù)。
碳納米管也被作為特大規(guī)模集成(ULSI)互連材料而進(jìn)行研究，因?yàn)樘技{米管可以支持*的電流
密度(比銅的大一千倍)，并具有很高的熱傳導(dǎo)性(比銅的大十倍)。碳納米管還可作為場(chǎng)發(fā)射顯
示器電源，而其近親—碳納米角，則有可能是構(gòu)造燃料電池的好材料。對(duì)于表征這些基本的碳
納米結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，B1500A是極jia的工具。
綜合的小電流測(cè)量和納米技術(shù)研究能力
對(duì)研究和表征納米技術(shù)器件而言，一臺(tái)具有穩(wěn)定的低電壓、小電流測(cè)量能力的儀器是很
重要的。要建立良好的納米技術(shù)測(cè)試環(huán)境，有兩個(gè)必要的基本條件：合適的測(cè)量?jī)x器和
低噪聲的測(cè)試環(huán)境。要在研究工作中達(dá)到*效率，除基本的測(cè)量性能外，易于使用的
硬件和軟件界面也很重要。
測(cè)量?jī)x器
是德科技提供了兩種很適合納米技術(shù)測(cè)量的儀器，即Keysight4156C精密半導(dǎo)體參數(shù)
分析儀和KeysightB1500A半導(dǎo)體器件分析儀，如圖3和圖4所示。4156C有固定配置，
即四個(gè)電源/監(jiān)測(cè)單元(SMU)、兩個(gè)電壓監(jiān)測(cè)單元(VMU)和兩個(gè)電壓源單元(VSU)。這
些測(cè)量資源能夠滿足大部分參數(shù)表征需求。4156C也有一個(gè)交互式前面板，將固定硬
件按鍵和軟件按鍵相結(jié)合，這提供了便捷和緊湊的操作環(huán)境。

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