Joule Yacht 快速退火爐 LRTP
- 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2018/10/18 11:19:18
- 訪問次數 211
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 應用案例
l 快速熱處理,快速退火,快速熱氧化,快速熱氮化
l 離子注入/接觸退火
l SiAu, SiAl, SiMo合金化
l 太陽能電池片鍵合
l 電阻燒結
l 低介電材料熱處理
l 晶體化,致密化
l 其他熱工藝需求
Joule Yacht 快速退火爐 LRTP 產品特點
l 可測大尺寸樣品 可測單晶片樣品的最大尺寸為4英寸(100mm)。
l 快速控溫與高真空 最高升溫速率可達100℃/s,真空度最高可達到10Pa。
l 程序設定與氣路擴展 最多可創建和存儲32個程序、8個PID設定,實現不同溫度段的精確測試。最多可擴展至4條工藝氣路(MFC),應用不同氣氛環境(真空、氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等)。
l 全自動智能控制 采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實現自動控制。
l 超高安全系數 采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停安全保護三重安全措施,*保障儀器使用安全。
快速退火爐技術參數
型號 | LRTP-1200 |
最高溫度 | 1200℃ |
最高升溫速率 | 100℃/s |
較快降溫速度 | 200℃/min(1000℃-->400℃) |
控溫精度 | ≤0.1℃ |
溫場均勻性 | ≤0.5% |
腔體冷卻 | 水冷方式,獨立冷卻源 |
襯底冷卻 | 氮氣吹掃 |
工藝氣路 | MFC控制,最多4路(可選氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等) |
主機尺寸 | 450×625×535,單位mm
|