ETD-800 型全自動等離子濺射儀外觀亮麗做工精致,機箱大小僅有310mm x 260mm x 115mm。
ETD-800小型離子濺射儀是專門為掃描電子顯微鏡用戶設計的全自動鍍膜設備;操作簡便,放入樣品后可一鍵搞定;數字式計數器滿足精準定時要求,特別適用對膜顆粒大小要求高的場發射掃描電子顯微鏡;膜厚均勻穩定;
配有高位定性的飛躍真空泵
ETD-800 type full automatic plasma sputtering instrumentBeautiful appearance and exquisite workmanship.
ETD-800 small ion sputtering instrument is specialThe automatic coating equipment designed for users of scanning electron microscope (SEM) is designed. It is easy to operate, and can be done by one key after the sample is put into the sample. The digital counter meets the requirement of precise timing, especially the field emission scanning electron microscope which requires high size of the membrane particles; the film thickness is uniform and stable.
High qualitative jump vacuum pump
配套泵 | 濺射靶材 | 濺射電流 | 濺射速率 | 樣品倉尺寸 | 樣品臺尺寸 | 工作電壓 |
一升飛躍泵 | 標配靶材為 金靶, 厚度為 50mm*0.1mm。 也可根據 實際情況 配備銀靶、 鉑靶等。 | 最大電流 50mA, 工作電流20mA | 優于 40nm/min | 直徑 103mm, 高100mm | 樣品臺尺寸 直徑50mm | 220V (可做110V), 50HZ |
電子束敏感的樣品 | 非導電的樣品 | 新材料 |
主要包括生物樣品, 塑料樣品等。 S EM中的電子束具有 較高能量,在與樣品 的相互作用過程中, 它以熱的形式將部分 能量傳遞給樣品。 如果樣品是對電子束 敏感的材料,那這種 相互作用會破壞 部分甚至整個樣品結構。 這種情況下, 用一種非電子束 敏感材料制備的 表面鍍層就可以 起到保護層的作用, 防止此類損傷; | 由于樣品不導電, 其表面帶有“電子陷阱”, 這種表面上的 電子積累被稱為“充電”。 為了消除荷電效應, 可在樣品表面鍍 一層金屬導電層, 鍍層作為一個導電通道, 將充電電子從材料 表面轉移走,消除 荷電效應。在掃描 電鏡成像時,濺射 材料增加信噪比, 從而獲得更好的成像質量。 | 非導電材料實驗電極 制作觀察導電特性 |