組合式探針臺鎢鋼探針精密運動探針座
探針臺參數:
1.底部蜂窩芯光學平板,具有隔振功能,固有頻率8-10Hz,適用于光學成像實驗!
2.龍門架結構,搭配磁性光學平板,方便與磁性元件連接!
3.龍門架兩端分別有兩個帶磁性探針調整座,方便固定,探針座行程X,Y,Z各5mm,精度10微米!
4.龍門架中間是XYZ三維精密調節位移臺,其中X,Y軸行程25mm,精度10微米,Z軸升降臺行程60mm,精度10微米!
5.三維位移臺上方是可旋轉式進口真空吸附盤,卡盤尺寸6英寸,平面度0.05mm,有四個吸附孔,可以和日本進口的真空吸附泵直接連接!
6.日本進口300倍變焦高分辨率高清晰度帶CCD成像顯微鏡,搭配8寸高清顯示器,方便移動操作,清晰成像!
組合式探針臺鎢鋼探針精密運動探針座